公开(公告)号：CN1271675C

公开(公告)日：2006-08-23

申请号：CN03122565.9

申请日：1995-06-27

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 光武英明 ,  河手信一 ,  中村尚人 ,  左納義久

IPC: H01J31/12 ,  H01J29/46 ,  H01J29/02

CPC classification number: H01J9/242 ,  H01J9/185 ,  H01J29/028 ,  H01J29/864 ,  H01J31/127 ,  H01J2201/3165 ,  H01J2329/864 ,  H01J2329/8645 ,  H01J2329/8655

Abstract: 一种电子束设备，包括一个具有电子发射器件的电子源、用于控制从所述电子源发射的电子的电极、受到从所述电子源发射的电子束的照射的靶以及设置在所述电子源与所述电极之间的隔板，所述隔板的表面上带有半导体薄膜，该半导体薄膜与所述电子源和所述电极相电连接。

公开(公告)号：CN1450583A

公开(公告)日：2003-10-22

申请号：CN03122565.9

申请日：1995-06-27

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 光武英明 ,  河手信一 ,  中村尚人 ,  左納義久

IPC: H01J31/12 ,  H01J29/46 ,  H01J29/02

CPC classification number: H01J9/242 ,  H01J9/185 ,  H01J29/028 ,  H01J29/864 ,  H01J31/127 ,  H01J2201/3165 ,  H01J2329/864 ,  H01J2329/8645 ,  H01J2329/8655

Abstract: 一种电子束设备，包括一个具有电子发射器件的电子源、用于控制从所述电子源发射的电子的电极、受到从所述电子源发射的电子束的照射的靶以及设置在所述电子源与所述电极之间的隔板，所述隔板的表面上带有半导体薄膜，该半导体薄膜与所述电子源和所述电极相电连接。