公开(公告)号：CN1357416A

公开(公告)日：2002-07-10

申请号：CN01142949.6

申请日：2001-12-05

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 冈泽昌毅 ,  岩间秀男

IPC: B08B3/08

CPC classification number: B24C1/003 ,  Y10S134/902

Abstract: 本发明的目的是对在使用环境中受到污染的机器和设备进行清洗来使其适合于回收再利用。为实现上述目的,通过将干冰和清洗剂同时作用于清洗目标物的清洗表面来对包括电子元件的装置或部件进行清洗。

公开(公告)号：CN1357417A

公开(公告)日：2002-07-10

申请号：CN01142954.2

申请日：2001-12-05

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 冈泽昌毅 ,  岩间秀男

IPC: B08B3/08

CPC classification number: B24C1/003 ,  Y10S134/902

Abstract: 本发明的目的是提供一种可根据清洗目标物清洗表面的污染度和污垢类型来进行清洗的方法。为实现上述目的,在本发明的用干冰来对包含电子元件的清洗目标物进行清洗的方法中,在从储存干冰的地方向清洗表面喷射干冰的过程中,可调节干冰的尺寸,从而在清洗的同时,根据清洗表面的污物或污垢类型来改变干冰的清洗性能。

公开(公告)号：CN1935325A

公开(公告)日：2007-03-28

申请号：CN200610128194.9

申请日：2006-09-06

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 金子芳昭 ,  西口敏司 ,  岩间秀男 ,  田村顺一

IPC: B01D53/74 ,  B01D53/72

CPC classification number: B01D53/32

Abstract: 一种气体分解设备，包括：至少一组高压电极和接地电极；用于在该高压电极和该接地电极之间施加电压以在它们之间引起等离子体放电的电源；电介质物质以及等离子体处理单元。电介质物质设置在高压电极和接地电极之间，并且可允许要分解的气体穿过。高压电极、接地电极和电介质物质设置在等离子体处理单元中。高压电极和接地电极中至少之一由弹性导电材料构成，并且能和电介质物质的表面轮廓匹配。

公开(公告)号：CN1358580A

公开(公告)日：2002-07-17

申请号：CN01143536.4

申请日：2001-12-12

Applicant: 佳能株式会社 ,  日水化工株式会社

Inventor： 冈泽昌毅 ,  岩间秀男 ,  佐藤文良 ,  强濑弘 ,  平泽信夫

IPC: B08B7/00

CPC classification number: B08B7/02 ,  B08B6/00

Abstract: 在使用干冰粒的清洗操作中,经常发生干冰粒的搭接现象。同样,也会产生静电,因此,不能得到一个良好的清洗效果。本发明直接解决了这些问题。为了解决这些问题,一种清洗设备具有一个喷嘴、一个用于将向该喷嘴气动输送一种运载气体的机构和一个用于向该喷嘴供应干冰粒的机构,并且该装置将干冰粒与运载气体一起从该喷嘴喷射到清洗物体(W)上。该清洗设备包括空气供应机构和充电机构,其中,该空气供应机构将去静电空气供应到将被喷嘴清洗的清洗物体(W)的清洗部分上,该充电机构用于给去静电空气充以与带电干冰粒的极性相反的极性。