公开(公告)号：CN1358580A

公开(公告)日：2002-07-17

申请号：CN01143536.4

申请日：2001-12-12

Applicant: 佳能株式会社 ,  日水化工株式会社

Inventor： 冈泽昌毅 ,  岩间秀男 ,  佐藤文良 ,  强濑弘 ,  平泽信夫

IPC: B08B7/00

CPC classification number: B08B7/02 ,  B08B6/00

Abstract: 在使用干冰粒的清洗操作中,经常发生干冰粒的搭接现象。同样,也会产生静电,因此,不能得到一个良好的清洗效果。本发明直接解决了这些问题。为了解决这些问题,一种清洗设备具有一个喷嘴、一个用于将向该喷嘴气动输送一种运载气体的机构和一个用于向该喷嘴供应干冰粒的机构,并且该装置将干冰粒与运载气体一起从该喷嘴喷射到清洗物体(W)上。该清洗设备包括空气供应机构和充电机构,其中,该空气供应机构将去静电空气供应到将被喷嘴清洗的清洗物体(W)的清洗部分上,该充电机构用于给去静电空气充以与带电干冰粒的极性相反的极性。