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公开(公告)号:CN117794337A
公开(公告)日:2024-03-29
申请号:CN202311237963.9
申请日:2023-09-22
Applicant: 佳能株式会社
Abstract: 本发明涉及一种液体排出设备,包括:头,其被构造成排出液体;腔室,其被构造成容纳所述头;循环系统,其被构造成使腔室内部的气体循环;排气系统,其被构造成操作以将气体排出至腔室的外部;过滤器,其设置在循环系统中并且被构造成去除气体中含有的去除目标;检测单元,其被构造成通过检测气体中含有的并且不同于去除目标的检测目标来间接检测去除目标;和控制器,其被构造成在由检测单元检测到的检测目标的浓度不低于阈值时操作排气系统。本发明还涉及基板处理设备和制品制造方法。
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公开(公告)号:CN102141834B
公开(公告)日:2014-05-28
申请号:CN201110029214.8
申请日:2011-01-26
Applicant: 佳能株式会社
Inventor: 山本哲也
IPC: G06F1/32
CPC classification number: G06F13/385 , G06F1/3203 , G06F1/3287 , G06F1/3293 , G06F9/5088 , G06F9/5094 , H04W52/0229 , Y02D10/122 , Y02D10/151 , Y02D10/171 , Y02D10/22 , Y02D10/32 , Y02D70/142
Abstract: 本发明提供一种信息处理装置及其控制方法,所述信息处理装置包括:通信单元,其被配置为与其他装置进行通信;主处理单元,其能够控制由所述通信单元进行的通信处理并且能够控制其他处理;通信处理单元,其能够控制由所述通信单元进行的所述通信处理;以及确定单元,其被配置为在所述通信单元进行通信期间,基于所述通信单元进行的通信的传输速率与要通信的数据的优先级中的一个,确定应当由所述主处理单元与所述通信处理单元中的哪一个控制由所述通信单元进行的所述通信处理。
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公开(公告)号:CN117698293A
公开(公告)日:2024-03-15
申请号:CN202311170332.X
申请日:2023-09-12
Applicant: 佳能株式会社
IPC: B41J2/165
Abstract: 本发明提供喷液装置、其控制方法、基板处理装置及物品制造方法,提供有利于减少对设置有液体喷出口的面进行清洁时的液体消耗量的技术。喷液装置具备:喷出头,其具有设置有用于喷出液体的喷出口的面、用于储存液体的储存部以及从所述喷出口连通至所述储存部的流路;控制部,其控制所述储存部内的压力;以及清洁部,其一边使吸引口沿着所述面移动一边从所述吸引口吸入附着在所述面上的液体,从而进行所述面的清洁处理,所述控制部在所述清洁处理中基于因所述吸引口的吸引力而作用在所述流路内的液体上的第一力来控制所述储存部内的压力,以便将形成在所述流路内的液面的位置维持在所述流路内。
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公开(公告)号:CN102141834A
公开(公告)日:2011-08-03
申请号:CN201110029214.8
申请日:2011-01-26
Applicant: 佳能株式会社
Inventor: 山本哲也
IPC: G06F1/32
CPC classification number: G06F13/385 , G06F1/3203 , G06F1/3287 , G06F1/3293 , G06F9/5088 , G06F9/5094 , H04W52/0229 , Y02D10/122 , Y02D10/151 , Y02D10/171 , Y02D10/22 , Y02D10/32 , Y02D70/142
Abstract: 本发明提供一种信息处理装置及其控制方法,所述信息处理装置包括:通信单元,其被配置为与其他装置进行通信;主处理单元,其能够控制由所述通信单元进行的通信处理并且能够控制其他处理;通信处理单元,其能够控制由所述通信单元进行的所述通信处理;以及确定单元,其被配置为在所述通信单元进行通信期间,基于所述通信单元进行的通信的传输速率与要通信的数据的优先级中的一个,确定应当由所述主处理单元与所述通信处理单元中的哪一个控制由所述通信单元进行的所述通信处理。
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公开(公告)号:CN119522611A
公开(公告)日:2025-02-25
申请号:CN202380052281.2
申请日:2023-06-23
Applicant: 佳能株式会社
Inventor: 山本哲也
Abstract: 能够执行侧链路通信的通信装置包括:检测单元,所述检测单元被配置为检测能够用作同步源并且能够执行侧链路通信的至少一个不同的通信装置;获取单元,所述获取单元被配置为从所述检测单元检测的所述至少一个不同的通信装置中的每一个获取预定信息;以及第一设置单元,所述第一设置单元被配置为在已进行关于同步优先次序的预定操作设置、并且所述第一设置单元基于所述获取单元获取的所述预定信息确定所述至少一个不同的通信装置当中存在已从其获取信息的不同的通信装置的情况下,将已从其获取所述信息的所述不同的通信装置设置为时间同步源,所述信息指示所述不同的通信装置是要用作同步源的预定类型的通信装置。
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公开(公告)号:CN117681559A
公开(公告)日:2024-03-12
申请号:CN202311152504.0
申请日:2023-09-07
Applicant: 佳能株式会社
Inventor: 山本哲也
Abstract: 本发明提供有利于减少喷出不良喷嘴的恢复处理所需的时间和液体使用量的液体喷出装置及其控制方法、基板处理装置及物品制造方法。液体喷出装置具备:喷出元件,喷出液体;驱动器,驱动所述喷出元件;以及控制部,控制所述驱动器。所述驱动器构成为,准备多种具有按规定长度的时间段频率阶段性地变低的脉冲图案的数据组。在此,在所述多种数据组之间,脉冲图案的频率相互不同。所述控制部控制所述驱动器,以将所述多种数据组中的每一个从脉冲图案的最高频率高的数据组起依次向所述喷出元件供给而进行预备喷出。
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公开(公告)号:CN112526829B
公开(公告)日:2024-02-20
申请号:CN202010986282.2
申请日:2020-09-18
Applicant: 佳能株式会社
Inventor: 山本哲也
IPC: G03F7/20
Abstract: 公开了曝光方法及装置、物品制造方法和制造半导体设备的方法。提供了一种执行经由投影光学系统曝光基板的曝光操作的曝光方法。该方法包括在执行曝光操作的曝光时段中执行投影光学系统的像差校正以校正通过执行曝光操作而生成的像差,在曝光时段之后的不执行曝光操作的非曝光时段中测量投影光学系统的像差,并使用基于测量结果调整的校正量来校正投影光学系统的像差,以便减小投影光学系统的像差校正中的校正残差。
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公开(公告)号:CN102364923B
公开(公告)日:2015-07-08
申请号:CN201110363616.1
申请日:2008-08-14
Applicant: 佳能株式会社
Inventor: 山本哲也
CPC classification number: H04L61/2015 , H04L29/1232 , H04L61/2092 , H04W84/18
Abstract: 本发明提供一种通信装置及通信装置的控制方法。该通信装置其包括:判断单元,其被配置为判断网络的通信模式(S1301);以及分配单元,其被配置为,在所述通信模式是预定模式的情况下,根据所述通信装置在所述网络中的作用,向另一通信装置分配地址(S1303)。
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公开(公告)号:CN102364923A
公开(公告)日:2012-02-29
申请号:CN201110363616.1
申请日:2008-08-14
Applicant: 佳能株式会社
Inventor: 山本哲也
CPC classification number: H04L61/2015 , H04L29/1232 , H04L61/2092 , H04W84/18
Abstract: 本发明提供一种通信装置及通信装置的控制方法。该通信装置其包括:判断单元,其被配置为判断网络的通信模式(S1301);以及分配单元,其被配置为,在所述通信模式是预定模式的情况下,根据所述通信装置在所述网络中的作用,向另一通信装置分配地址(S1303)。
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