公开(公告)号：CN100550254C

公开(公告)日：2009-10-14

申请号：CN200510055063.8

申请日：2005-03-15

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 富田康子 ,  小坂容子 ,  寺田匡宏 ,  下田卓

IPC: H01J9/02 ,  G03F7/004 ,  C09K3/16

CPC classification number: G03F7/0047 ,  G03F7/0755 ,  G03F7/0757 ,  G03F7/40 ,  H01J1/316 ,  H01J9/027 ,  H01J31/127 ,  H01J2201/3165 ,  H01J2329/0489

Abstract: 提供一种形成防静电膜用的组成物和导电性膜图形的制造方法。该形成防静电膜用的组成物，是含有金属和感光性成分的、形成防静电膜用的组成物，其特征在于：对该组成物进行曝光和显影而形成的膜图形具有疏水性，且上述膜图形通过烧结成为电阻性的膜。

公开(公告)号：CN1677606A

公开(公告)日：2005-10-05

申请号：CN200510055063.8

申请日：2005-03-15

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 富田康子 ,  小坂容子 ,  寺田匡宏 ,  下田卓

IPC: H01J9/02 ,  G03F7/004 ,  C09K3/16

CPC classification number: G03F7/0047 ,  G03F7/0755 ,  G03F7/0757 ,  G03F7/40 ,  H01J1/316 ,  H01J9/027 ,  H01J31/127 ,  H01J2201/3165 ,  H01J2329/0489

Abstract: 提供一种形成防静电膜用的组成物和导电性膜图形的制造方法。该形成防静电膜用的组成物，是含有金属和感光性成分的、形成防静电膜用的组成物，其特征在于：对该组成物进行曝光和显影而形成的膜图形具有疏水性，且上述膜图形通过烧结成为电阻性的膜。