公开(公告)号：CN102122115A

公开(公告)日：2011-07-13

申请号：CN201110000210.7

申请日：2011-01-04

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 栗原政树 ,  渡边杏平 ,  北村慎吾

IPC: G03F7/00 ,  G03F1/00 ,  G02B3/00 ,  H01L27/146

CPC classification number: G03F7/0005 ,  B29D11/00298 ,  G03F1/50 ,  H01L27/14685

Abstract: 本发明涉及光掩模数据的产生方法、光掩模的制作方法、具有微透镜阵列的固态图像传感器及微透镜阵列的制造方法。提供一种产生用于制作微透镜阵列的光掩模数据的方法，该光掩模在包含周边区域和主区域的各矩形区域中具有包含遮光部分和非遮光部分的微透镜图案，该周边区域具有矩形区域的四个边作为外边缘，该主区域具有作为周边区域的内边缘的边界，该周边区域由分别包含所述四个边中的一个作为其一部分的四个条带区域构成，并且，所述外边缘和所述内边缘之间的宽度不大于曝光用光的波长的1/2，该方法包括确定周边区域中的遮光部分和非遮光部分的布局，使得遮光部分的密度被设为落在0％～15％的范围内。

公开(公告)号：CN102122115B

公开(公告)日：2013-03-27

申请号：CN201110000210.7

申请日：2011-01-04

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 栗原政树 ,  渡边杏平 ,  北村慎吾

IPC: G03F7/00 ,  G03F1/00 ,  G03F1/46 ,  G02B3/00 ,  H01L27/146

CPC classification number: G03F7/0005 ,  B29D11/00298 ,  G03F1/50 ,  H01L27/14685

Abstract: 本发明涉及光掩模数据的产生方法、光掩模的制作方法、具有微透镜阵列的固态图像传感器及微透镜阵列的制造方法。提供一种产生用于制作微透镜阵列的光掩模数据的方法，该光掩模在包含周边区域和主区域的各矩形区域中具有包含遮光部分和非遮光部分的微透镜图案，该周边区域具有矩形区域的四个边作为外边缘，该主区域具有作为周边区域的内边缘的边界，该周边区域由分别包含所述四个边中的一个作为其一部分的四个条带区域构成，并且，所述外边缘和所述内边缘之间的宽度不大于曝光用光的波长的1/2，该方法包括确定周边区域中的遮光部分和非遮光部分的布局，使得遮光部分的密度被设为落在0％～15％的范围内。

公开(公告)号：CN100566055C

公开(公告)日：2009-12-02

申请号：CN200710110389.5

申请日：2007-06-13

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 河本智浩 ,  北村慎吾

IPC: H01S5/0683 ,  H01S3/13 ,  B41J2/435 ,  G03G15/00

CPC classification number: B41J2/442 ,  B41J2/471

Abstract: 一种光功率控制装置，包括：改变单元，其多次改变流向光束输出装置的电流的值；以及获取单元，其对应于每个电流值获得代表从光束输出装置输出的光束的光斑的外围部分的光功率的外围光功率。该光功率控制装置还包括校正单元，其校正外围光功率，从而使外围光功率和代表光斑的中心部分的光功率的中心光功率之间对应于每个电流值具有近似线性的关系。该光功率控制装置还包括控制单元，其根据经过校正的外围光功率控制从光束输出装置输出的光束的光功率。

公开(公告)号：CN101090196A

公开(公告)日：2007-12-19

申请号：CN200710110389.5

申请日：2007-06-13

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 河本智浩 ,  北村慎吾

IPC: H01S5/0683 ,  H01S3/13 ,  B41J2/435 ,  G03G15/00

CPC classification number: B41J2/442 ,  B41J2/471

Abstract: 一种光功率控制装置，包括：改变单元，其多次改变流向光束输出装置的电流的值；以及获取单元，其对应于每个电流值获得代表从光束输出装置输出的光束的光斑的外围部分的光功率的外围光功率。该光功率控制装置还包括校正单元，其校正外围光功率，从而使外围光功率和代表光斑的中心部分的光功率的中心光功率之间对应于每个电流值具有近似线性的关系。该光功率控制装置还包括控制单元，其根据经过校正的外围光功率控制从光束输出装置输出的光束的光功率。