研磨用组合物
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN112384591A

    公开(公告)日:2021-02-19

    申请号:CN201980041965.6

    申请日:2019-07-01

    Abstract: 本发明提供即使不显著降低研磨速率也能够改善基板的平坦性的研磨方法。更具体而言,本发明提供一种研磨用组合物,其含有无机粒子、水和式(1)所表示的聚环氧烷改性物。(式中,R1各自独立地表示R11‑的(O基‑R团12。)Rx1‑1所各表自示独立地表示碳原子数1~24的烷基,R12各自独立地表示碳原子数2~4的亚烷基,x表示0~500的整数。R2各自独立地表示烃基。R3各自独立地表示碳原子数2~4的亚烷基。n表示1~1000的整数,m表示1以上的整数。)

    水溶性羟乙基纤维素的制造方法

    公开(公告)号:CN109790226A

    公开(公告)日:2019-05-21

    申请号:CN201780059308.5

    申请日:2017-09-19

    Abstract: 使碱性纤维素与环氧乙烷反应以使得其每葡萄糖单元的环氧乙烷的平均加成摩尔数达到0.1~1.0摩尔,从而制备羟乙基纤维素,将所制备的羟乙基纤维素机械粉碎,由此制造水溶性的羟乙基纤维素。根据该制造方法,能够抑制环氧乙烷的使用量而由碱性纤维素制造水溶性的羟乙基纤维素。此外,通过该制造方法制造的水溶性羟乙基纤维素通常2质量%水溶液的损耗角正切(tanδ)在频率0.1~100rad/s的范围内低于1.0,示出凝胶物性。

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