氮化物半导体发光元件及其制造方法

    公开(公告)号:CN100413103C

    公开(公告)日:2008-08-20

    申请号:CN200510088496.3

    申请日:2005-08-02

    CPC classification number: H01L33/32 B82Y20/00 H01L33/06

    Abstract: 本发明提供一种氮化物半导体发光元件,在支撑基体上设置第1导电型氮化物半导体层,此外在支撑基体上设置第2导电型氮化物半导体层。发光区域,设在第1导电型氮化物半导体层和第2导电型氮化物半导体层之间。发光区域,含有InX1AlY1Ga1-X1-Y1N势阱层(1>X1>0、1>Y1>0)及InX2AlY2Ga1-X2-Y2N势垒层(1>X2>0、1>Y2>0)。InX3AlY3Ga1-X3-Y3N缓冲层(1>X3>0、1>Y3>0),设在发光区域和第1导电型氮化物半导体层之间。InX1AlY1Ga1-X1-Y1N势阱层的铟组成X1,小于InX3AlY3Ga1-X3-Y3N缓冲层的铟组成X3。InX2AlY2Ga1-X2-Y2N势垒层的铟组成X2小于InX3AlY3Ga1-X3-Y3N缓冲层的铟组成X3。

    氮化物半导体发光元件及制造氮化物半导体发光元件的方法

    公开(公告)号:CN1734802A

    公开(公告)日:2006-02-15

    申请号:CN200510088496.3

    申请日:2005-08-02

    CPC classification number: H01L33/32 B82Y20/00 H01L33/06

    Abstract: 本发明提供一种氮化物半导体发光元件,在支撑基体上设置第1导电型氮化物半导体层,此外在支撑基体上设置第2导电型氮化物半导体层。发光区域,设在第1导电型氮化物半导体层和第2导电型氮化物半导体层之间。发光区域,含有InX1AlY1Ga1-X1-Y1N势阱层(1>X1>0、1>Y1>0)及InX2AlY2Ga1-X2-Y2N势垒层(1>X2>0、1>Y2>0)。InX3AlY3Ga1-X3-Y3N缓冲层(1>X3>0、1>Y3>0),设在发光区域和第1导电型氮化物半导体层之间。InX1AlY1Ga1-X1-Y1N势阱层的铟组成X1,小于InX3AlY3Ga1-X3-Y3N缓冲层的铟组成X3。InX2AlY2Ga1-X2-Y2N势垒层的铟组成X2小于InX3AlY3Ga1-X3-Y3N缓冲层的铟组成X3。

    氮化物半导体发光器件

    公开(公告)号:CN101981711B

    公开(公告)日:2012-07-18

    申请号:CN200980110753.5

    申请日:2009-03-23

    CPC classification number: H01L33/12 H01L33/02 H01L33/025 H01L33/32

    Abstract: 本发明提供一种具有改善的内部量子效率的发光层和具有高的光输出的氮化物半导体发光器件。所述氮化物半导体发光器件包括用于外延生长的单晶衬底(1)、形成在单晶衬底(1)的上表面侧上的第一缓冲层(2)、形成在第一缓冲层(2)的上表面侧上的n-型氮化物半导体层(3)、通过第二缓冲层(4)形成在n-型氮化物半导体层(3)的上表面侧上的第三缓冲层(5)、形成在第三缓冲层(5)的上表面侧上的发光层(6)和形成在发光层(6)的上表面侧上的p-型氮化物半导体层(7)。第三缓冲层(5)用于减少发光层(6)中的线位错和剩余畸变,改善发光层(6)的基层的平坦度,以及进一步地通过利用第三缓冲层(5)中产生的载流子来改变发光层(6)中的压电场,并且在第三缓冲层(5)中添加Si充当施主的杂质。

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