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公开(公告)号:CN1257559C
公开(公告)日:2006-05-24
申请号:CN03155310.9
申请日:2003-08-26
Applicant: 住友电气工业株式会社
IPC: H01L31/10 , H01L31/0256 , G01J1/02
CPC classification number: H01L31/0296 , B82Y20/00 , H01L31/02966 , H01L31/0328 , H01L31/035236 , H01L31/107
Abstract: 本发明提供一种对蓝色-紫色-近紫外光灵敏的、暗电流低的、可靠性高的ZnSe系光电二极管,由p型单晶GaAs基板;在p型单晶GaAs基板上外延生长的、通过反复叠层p型ZnSe和p型ZnTe使禁带宽度连续变化的超晶格;在超晶格上外延生长的p型Zn1-xMgxSySe1-y层;在p型Zn1-xMgxSySe1-y层上外延生长的i型Zn1-xMgxSySe1-y层;在i型Zn1-xMgxSySe1-y层上外延生长的n型Zn1-xMgxSySe1-y层;在n型Zn1-xMgxSySe1-y层上形成的n金属电极;以及在p型单晶GaAs基板底面形成的p金属电极构成。
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公开(公告)号:CN1487601A
公开(公告)日:2004-04-07
申请号:CN03155310.9
申请日:2003-08-26
Applicant: 住友电气工业株式会社
IPC: H01L31/10 , H01L31/0256 , G01J1/02
CPC classification number: H01L31/0296 , B82Y20/00 , H01L31/02966 , H01L31/0328 , H01L31/035236 , H01L31/107
Abstract: 本发明提供一种对蓝色-紫色-近紫外光灵敏的、暗电流低的、可靠性高的ZnSe系光电二极管,由p型单晶GaAs基板;在p型单晶GaAs基板上外延生长的、通过反复叠层p型ZnSe和p型ZnTe使禁带宽度连续变化的超晶格;在超晶格上外延生长的p型Zn1-xMgxSySe1-y层;在p型Zn1-xMgxSySe1-y层上外延生长的i型Zn1-xMgxSySe1-y层;在i型Zn1-xMgxSySe1-y层上外延生长的n型Zn1-xMgxSySe1-y层;在n型Zn1-xMgxSySe1-y层上形成的n金属电极;以及在p型单晶GaAs基板底面形成的p金属电极构成。
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