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公开(公告)号:CN115698855A
公开(公告)日:2023-02-03
申请号:CN202180038895.6
申请日:2021-05-25
Applicant: 住友电木株式会社
IPC: G03F7/023 , G03F7/075 , G03F7/004 , H01L21/312
Abstract: 本发明提供一种感光性树脂组合物,其含有成分(A):碱溶性树脂,其中,成分(A)含有成分(a1):联苯芳烷基型酚醛树脂,在以下的条件1下测量的感光性树脂组合物的固化膜的拉伸伸长率为10%以上200%以下:(条件1)(i)使感光性树脂组合物在200℃、180分钟的条件下固化而形成固化膜,并由固化膜制作6.5mm×20mm×10μm厚度的试样。(ii)根据JIS K7161,在23℃、试验速度5mm/min的条件下实施试样的拉伸试验并求出拉伸伸长率。
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公开(公告)号:CN110914756B
公开(公告)日:2021-05-04
申请号:CN201880043952.8
申请日:2018-06-13
Applicant: 住友电木株式会社
Abstract: 本发明的感光性树脂组合物包含碱溶性树脂、感光剂和溶剂,上述溶剂包含脲化合物或非环状结构的酰胺化合物。脲化合物的结构优选为非环状结构。并且,脲化合物优选为四甲基脲。并且,非环状结构的酰胺化合物例如优选为3‑甲氧基‑N,N‑二甲基丙酰胺。另外,碱溶性树脂优选为聚酰胺树脂。
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公开(公告)号:CN110914756A
公开(公告)日:2020-03-24
申请号:CN201880043952.8
申请日:2018-06-13
Applicant: 住友电木株式会社
Abstract: 本发明的感光性树脂组合物包含碱溶性树脂、感光剂和溶剂,上述溶剂包含脲化合物或非环状结构的酰胺化合物。脲化合物的结构优选为非环状结构。并且,脲化合物优选为四甲基脲。并且,非环状结构的酰胺化合物例如优选为3‑甲氧基‑N,N‑二甲基丙酰胺。另外,碱溶性树脂优选为聚酰胺树脂。
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