光学半导体器件及组装该光学半导体器件的方法

    公开(公告)号:CN112510487B

    公开(公告)日:2024-10-01

    申请号:CN202010951669.4

    申请日:2020-09-11

    Inventor: 高田干

    Abstract: 本发明提供一种光学半导体器件及组装该光学半导体器件的方法。该光学半导体器件包括:台面,该台面被设置在具有(100)面取向并且是第一导电类型的半导体衬底的 方向上的表面上,并且包括第一导电类型的第一包层、有源层和第二导电类型的第二包层;半绝缘掩埋层,该半绝缘掩埋层掩埋台面的两侧、被设置在半导体衬底上、并且包括第一区域和第二区域,第二区域相比于第一区域距台面更远;绝缘膜,该绝缘膜被设置在掩埋层的第一区域和第二区域上;以及电极,该电极被设置在台面上和第一区域上的绝缘膜上;其中,第一区域的表面在等于或低于台面的表面的高度的高度处,并且在距台面更远的距离处降低。

    光学半导体器件及组装该光学半导体器件的方法

    公开(公告)号:CN112510487A

    公开(公告)日:2021-03-16

    申请号:CN202010951669.4

    申请日:2020-09-11

    Inventor: 高田干

    Abstract: 本发明提供一种光学半导体器件及组装该光学半导体器件的方法。该光学半导体器件包括:台面,该台面被设置在具有(100)面取向并且是第一导电类型的半导体衬底的 方向上的表面上,并且包括第一导电类型的第一包层、有源层和第二导电类型的第二包层;半绝缘掩埋层,该半绝缘掩埋层掩埋台面的两侧、被设置在半导体衬底上、并且包括第一区域和第二区域,第二区域相比于第一区域距台面更远;绝缘膜,该绝缘膜被设置在掩埋层的第一区域和第二区域上;以及电极,该电极被设置在台面上和第一区域上的绝缘膜上;其中,第一区域的表面在等于或低于台面的表面的高度的高度处,并且在距台面更远的距离处降低。

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