公开(公告)号：CN101206405A

公开(公告)日：2008-06-25

申请号：CN200710197166.7

申请日：2007-12-10

Applicant: 住友化学株式会社

Inventor： 高田佳幸 ,  宫川贵行 ,  枝松邦茂

IPC: G03F7/039

CPC classification number: G03F7/0045 ,  G03F7/0046 ,  G03F7/0397 ,  Y10S430/111 ,  Y10S430/123

Abstract: 本发明提供一种化学放大型抗蚀剂组合物，其包含：树脂，所述树脂包含具有酸－不稳定基团的结构单元和由式(I)表示的结构单元，其中R1表示氢原子或甲基，环X表示C3－C30环烃基，其中一个－CH2－被－COO－取代，并且在所述C3－C30环烃基中的至少一个氢原子可以被取代，并且p表示1至4的整数，并且所述树脂本身在碱水溶液中不溶解或溶解差，但是通过酸的作用变得可溶于碱水溶液中；以及由式(II)表示的盐，其中Y1和Y2各自独立地表示氟原子或C1－C6全氟烷基，A+表示有机抗衡离子，并且R21表示可以被取代的C1－C30烃基，并且在C1－C30烃基中的至少一个－CH2－可以被－CO－或－O－取代。

公开(公告)号：CN101206405B

公开(公告)日：2011-11-30

申请号：CN200710197166.7

申请日：2007-12-10

Applicant: 住友化学株式会社

Inventor： 高田佳幸 ,  宫川贵行 ,  枝松邦茂

IPC: G03F7/039

CPC classification number: G03F7/0045 ,  G03F7/0046 ,  G03F7/0397 ,  Y10S430/111 ,  Y10S430/123

Abstract: 本发明提供一种化学放大型抗蚀剂组合物，其包含：树脂，所述树脂包含具有酸-不稳定基团的结构单元和由式(I)表示的结构单元：其中R1表示氢原子或甲基，环X表示C3-C30环烃基，其中一个-CH2-被-COO-取代，并且在所述C3-C30环烃基中的至少一个氢原子可以被取代，并且p表示1至4的整数，并且所述树脂本身在碱水溶液中不溶解或溶解差，但是通过酸的作用变得可溶于碱水溶液中；以及由式(II)表示的盐：其中Y1和Y2各自独立地表示氟原子或C1-C6全氟烷基，A+表示有机抗衡离子，并且R21表示可以被取代的C1-C30烃基，并且在C1-C30烃基中的至少一个-CH2-可以被-CO-或-O-取代。

公开(公告)号：CN101614958A

公开(公告)日：2009-12-30

申请号：CN200910139499.3

申请日：2009-06-24

Applicant: 住友化学株式会社

Inventor： 重松淳二 ,  枝松邦茂 ,  宫川贵行 ,  釜渊明

IPC: G03F7/039

CPC classification number: G03F7/0397 ,  G03F7/0046

Abstract: 本发明提供一种化学放大型正性抗蚀剂组合物，其包含：树脂(A)，所述树脂(A)本身不溶于或难溶于碱性水溶液，但是通过酸的作用变得可溶于碱性水溶液，并且所述树脂(A)包含在侧链中具有酸不稳定基团的结构单元，以及由式(I)表示的结构单元，其中R1表示氢原子或甲基，环X1表示具有－COO－的未取代或取代的C3－C30环烃基，并且k表示1至4的整数；树脂(B)，所述树脂(B)包含由式(II)表示的结构单元，其中R2表示氢原子、甲基或三氟甲基；以及酸生成剂。