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公开(公告)号：CN101515536A
公开(公告)日：2009-08-26
申请号：CN200910007881.9
申请日：2009-02-20
Applicant: 优志旺电机株式会社
Abstract: 本发明提供一种准分子灯，防止紫外线反射膜的反射膜形成开始区域从放电容器剥落，可长时间地维持准分子光的放射光量。该准分子灯(10)具备具有放电空间(S)的由二氧化硅玻璃构成的放电容器(11)，在介设有形成放电容器(11)的二氧化硅玻璃的状态下设有一对电极(15、16)，而且在放电空间(S)内封入有氙气体，在放电容器(11)的放电空间(S)内发生准分子放电，在暴露于放电容器(11)的放电空间的表面上，形成有由二氧化硅粒子与氧化铝粒子所形成的紫外线反射膜(18)，紫外线反射膜(18)的反射膜形成开始区域(19)的膜厚比反射膜形成开始区域(19)以外的部分的膜厚薄。
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公开(公告)号：CN101840838B
公开(公告)日：2014-03-12
申请号：CN201010106755.1
申请日：2010-01-29
Applicant: 优志旺电机株式会社
Abstract: 本发明提供一种准分子灯，其能够抑制放电容器的劣化，实现长寿命化，并且光的射出效率高、亮度降低少。该准分子灯构成为具有：放电容器，其具有配置在同轴上的外侧管和内侧管，封入氙气并形成圆筒状的放电空间；以及配置于外侧管的外周面上的一侧电极和配置于内侧管的内周面上的另一侧电极，一侧电极在与准分子灯的管轴垂直的剖面中覆盖所述外侧管的外周面上的一半以上且具有一定区域非形成部分，在外侧管的内周面上，以超过一侧电极的配置区域进行覆盖的方式形成有对波长在150nm以下的紫外光具有吸收或者反射特性的膜。该膜可以由选自二氧化硅、氧化铝、氧化钛和氧化钇构成的群中至少一种构成。
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公开(公告)号：CN101958224B
公开(公告)日：2014-01-01
申请号：CN201010126692.6
申请日：2010-02-24
Applicant: 优志旺电机株式会社
IPC: H01J65/04
Abstract: 本发明为了提供最适于PSA用途的光源，目的在于提供一种灯，能够高效地放射出用于使单体聚合所需的波长在300-380nm的波长区域的紫外光。所述灯具有放电容器和一对电极，所述放电容器中封入有包含气体碘和氪气的放电气体，所述一对电极隔着形成在所述放电容器的内部的放电空间相对地进行配置，该灯通过形成激发碘分子而放射波长为342nm的紫外光，其特征在于，所述放电气体中包含的气体碘的浓度为0.04～0.9％，并且在设施加到所述放电空间的电场强度为E(kV/cm)，所述稀有气体的分压为p1(kPa)，所述气体碘的分压为p2(kPa)时，下式的关系成立：E/p1≥(6.6×p2+124)×exp(-0.0093×p1)。
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公开(公告)号：CN101409206B
公开(公告)日：2012-09-05
申请号：CN200810169268.2
申请日：2008-10-10
Applicant: 优志旺电机株式会社
Abstract: 本发明提供一种即使长时间点灯时也把紫外线反射膜的反射率降低的程度抑制得较小、而且在放电容器的轴方向可得到均匀的照度分布的准分子灯。本发明的准分子灯，包括具有放电空间的由二氧化硅玻璃构成的放电容器，在夹着形成该放电容器的二氧化硅玻璃的状态下设有一对电极，在上述放电容器的放电空间内产生准分子放电，其中，在上述放电容器的曝露于放电空间中的表面上，形成由二氧化硅粒子和氧化铝粒子形成的紫外线反射膜，上述二氧化硅粒子的中心粒径的大小为上述氧化铝粒子的中心粒径的0.67倍以上。紫外线反射膜中的氧化铝粒子的含有比率，优选是二氧化硅粒子和氧化铝粒子的合计的5wt％以上，更优选10wt％以上。
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公开(公告)号：CN101540264A
公开(公告)日：2009-09-23
申请号：CN200910126162.9
申请日：2009-03-05
Applicant: 优志旺电机株式会社
Abstract: 本发明提供一种在放电空间内发生准分子放电而放射真空紫外光的准分子灯，由熔融石英玻璃构成放电容器的一部分。该准分子灯(1)具有内侧管(4)与外侧管(3)配置在同轴方向的双重管构造的石英玻璃构成的放电容器(2)，在介设有形成该放电容器(2)的石英玻璃的状态下设置一对电极(5)、(6)，在放电空间(S)内封入有氙气体，在放电容器(2)的放电空间(S)内发生准分子放电，其特征在于，内侧管(4)由熔融石英玻璃形成，外侧管(3)由合成石英玻璃形成。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101409207A
公开(公告)日：2009-04-15
申请号：CN200810169269.7
申请日：2008-10-10
Applicant: 优志旺电机株式会社
Abstract: 本发明提供一种即使长时间点灯时也把紫外线反射膜的反射率降低的程度抑制得较小、不会产生紫外线反射膜的剥落，因此可有效率地出射真空紫外光的准分子灯。本发明的准分子灯，包括具有放电空间的由二氧化硅玻璃构成的放电容器，在夹着形成该放电容器的二氧化硅玻璃的状态下设有一对电极，在上述放电容器的放电空间内产生准分子放电，其中，在上述放电容器的曝露于放电空间中的表面上，形成由二氧化硅粒子和氧化铝粒子形成的紫外线反射膜，该紫外线反射膜，在将上述放电容器的管壁负荷设为b[W/cm2]时，在曝露于放电空间中的表面层部分以(10b－4)wt％以上、70wt％以下的比率含有氧化铝粒子。
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公开(公告)号：CN1320611C
公开(公告)日：2007-06-06
申请号：CN03147817.4
申请日：2003-06-25
Applicant: 优志旺电机株式会社
IPC: H01L21/324 , H01L21/477 , H01L21/00
CPC classification number: H01L21/67115 , H05B3/0047
Abstract: 提供一种以闪光灯为光源的光加热装置，可以防止硅晶片产生裂纹，由以下部分构成，封入了稀有气体的闪光灯(20)；包围该闪光灯(20)的壳体(32)；放置被该闪光灯的放射光照射的硅晶片的载物台；和控制闪光灯的发光的供电装置，其特征在于，上述载物台表面上的上述闪光灯进行一次发光时，波长范围220nm～370nm的积分放射强度A和波长范围370nm～800nm的积分放射强度B的比率B/A为1.0以上。
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公开(公告)号：CN1409365A
公开(公告)日：2003-04-09
申请号：CN02142603.1
申请日：2002-09-12
Applicant: 优志旺电机株式会社
CPC classification number: H01J61/36
Abstract: 提供一种在气密性密封部处气密耐久性高、使用寿命长的放电灯。放电灯的特征为，它配备有具有由石英玻璃构成的发光管部以及封接部的放电容器，在该放电容器的封接部内埋设有金属箔，形成气密性密封部，在前述金属箔的至少一个面上形成由氧化钛，氧化镧以及氧化钽，含有氧化钇的氧化锆，以及含有氧化钇的氧化铪中选择出来的至少一种金属氧化物构成的覆盖膜。形成覆盖膜的金属氧化物优选地为结晶材料。覆盖膜优选地中间经由氧化铝或氧化钇构成的底层膜而形成的。
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公开(公告)号：CN101459035B
公开(公告)日：2012-09-19
申请号：CN200810184644.5
申请日：2008-12-11
Applicant: 优志旺电机株式会社
Abstract: 本发明提供一种准分子灯，其紫外线反射膜构成为可透射红外光，减少放电容器与紫外线反射膜的温度差，防止紫外线反射膜剥落，可长时间地将准分子光的放射光量维持在预定范围。该准分子灯(10)具备：具有放电空间的二氧化硅破璃构成的放电容器(11)以及介设有形成放电容器(11)的二氧化硅玻璃的一对电极(12、13)，在放电空间(S)内封入有氙气体，在放电空间(S)内发生准分子放电，在曝露于准分子放电的上述放电容器(11)内表面上，形成由包含二氧化硅粒子的紫外线散射粒子构成的紫外线反射膜(14)，以波长4560nm的光透射紫外线反射膜(14)及透射厚度为1mm的二氧化硅玻璃进行测定时的透射率为10％以上。
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公开(公告)号：CN101409203B
公开(公告)日：2012-07-04
申请号：CN200810170149.9
申请日：2008-10-13
Applicant: 优志旺电机株式会社
Abstract: 本发明提供一种能得到可有效率地反射真空紫外光的紫外线反射膜而可有效率地出射真空紫外光、而且可确实地防止紫外线反射膜剥落的准分子灯。本发明的准分子灯，包括具有放电空间的由二氧化硅玻璃构成的放电容器，在夹着形成该放电容器的二氧化硅玻璃的状态下设有一对电极，并且在放电空间内封入有氙气体，其中，在放电容器的曝露于放电空间中的表面上，形成通过由二氧化硅粒子和氧化铝粒子形成的紫外线散射粒子构成的紫外线反射膜，该紫外线反射膜的膜厚Y(μm)，在将构成紫外线反射膜的紫外线散射粒子的中心粒径设为X(μm)时，满足Y>4X+5的关系。优选紫外线反射膜中二氧化硅粒子的含有比率为30wt％以上。
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