公开(公告)号：CN101061432A

公开(公告)日：2007-10-24

申请号：CN200580039211.5

申请日：2005-10-14

Applicant: 伊利诺斯大学理事会

Inventor： 拉尔夫·G·努若 ,  威廉·R·蔡尔兹 ,  迈克尔·J·莫特拉 ,  李健在

IPC: G03F7/00

CPC classification number: G03F7/0002 ,  B81C1/0038 ,  B81C2201/0159 ,  B81C2201/0191 ,  B81C2203/038 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  G03F7/34 ,  G03F7/346

Abstract: 一种制造微结构的方法，包括选择性活化含硅弹性体的部分表面，使该活化部分与物质接触，以及使该活化部分与物质结合，使得该表面的活化部分和与该活化部分接触的物质不可逆地连接。通过在该含硅弹性体的表面上配置掩模以及用UV射线照射该露出部分可以实现这种选择性活化。