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发明公开
用于制造有机发光二极管面板的精细金属掩模无效

公开(公告)号：CN110551971A

公开(公告)日：2019-12-10

申请号：CN201810558151.7

申请日：2018-06-01

Applicant: 京畿大学校产学协力团 , 丰元精密株式会社

Inventor： 朱祥玄 , 柳明勋 , 李志原 , 李在训

IPC: C23C14/04 , C23C14/12 , C23C14/24 , H01L51/56

Abstract: 本发明涉及用于制造有机发光二极管面板的精细金属掩模，提供如下的精细金属掩模，即，在掩模基材的表面赋予基于纳米屏蔽层的超疏液特性，以减少有机物的附着，并易于清洗蒸镀的有机物。本发明的精细金属掩模可包括：掩模基材；以及纳米屏蔽层，在上述掩模基材的表面，通过在包括蒸镀面的区域涂敷超疏液物质来形成。并且，本发明的精细金属掩模中，掩模基材在表面中的包括蒸镀面的区域中形成有凹凸图案。

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