公开(公告)号：CN117837273A

公开(公告)日：2024-04-05

申请号：CN202280057499.2

申请日：2022-08-31

Applicant: 京瓷株式会社

Inventor： 梅原干裕 ,  藤田航 ,  石川和洋

IPC: H05H1/00 ,  H01L21/31 ,  C23C14/06 ,  C23C16/44

Abstract: 本公开的耐等离子层叠体具备：基体；形成于所述基体上的膜电极；和形成于所述膜电极上的电介质层，基体包含蓝宝石，电介质层包含含有钇的氧化物，膜电极包含：活性金属、或者基体或所述电介质层的构成元素、或者它们的层叠。

公开(公告)号：CN116762162A

公开(公告)日：2023-09-15

申请号：CN202280011188.2

申请日：2022-01-25

Applicant: 京瓷株式会社

Inventor： 藤田航

IPC: H01L21/683

Abstract: 本公开所涉及的静电卡盘包含：板状体，具有用于载置被吸附物的吸附面；基体；以及电极膜，位于板状体与基体之间。板状体以及基体由蓝宝石形成。吸附面与蓝宝石的c面所成的角为45°以上。