盖板自动定位装置
    8.
    实用新型

    公开(公告)号:CN203456429U

    公开(公告)日:2014-02-26

    申请号:CN201320400806.0

    申请日:2013-07-05

    Abstract: 本实用新型涉及定位技术领域,尤其涉及一种盖板自动定位装置。该装置包括:盖板主体和下部电极板;基板设置于下部电极板上,基板的面积小于下部电极板的面积;盖板主体为边框形,其覆盖基板的边缘区域,盖板主体下表面设有台柱,台柱接触下部电极板;台柱上设有朝向下部电极板的凸起,下部电极板上设有与凸起相对应的凹槽。本实用新型提供的盖板自动定位装置,采用在盖板的台柱上设置凸起以及在下部电极板上设置凹槽的设计,通过两者之间的配合,使得在重力作用下,实现盖板与下部电极板间不会发生相对位移,确保盖板覆盖玻璃基板边缘的有效率,进而最大程度地延长部件的使用寿命,进而节省加工成本。

    等离子体增强化学气相沉积设备及其定位装置

    公开(公告)号:CN203270029U

    公开(公告)日:2013-11-06

    申请号:CN201320291410.7

    申请日:2013-05-24

    Abstract: 本实用新型属于定位技术领域,公开了一种等离子体增强化学气相沉积设备及其定位装置,该定位装置的定位夹具包括固定在基板承载结构上的固定件及与该固定件通过旋转轴连接的旋转体,放置在工作台上的基板的侧边位于该旋转体的旋转区域内,且该旋转体的重心相对其旋转中心靠近定位装置真空腔的侧壁,并在真空腔的侧壁上设置用于驱动旋转体旋转的驱动件。通过利用基板承载结构与真空腔相对运动频繁的特点,有效将基板承载结构与真空腔的相对运动转化为定位装置定位基板的动力源,大大简化了定位夹具的结构,还能够实现动作的高再现性,保证定位精度,满足量产的需求。

Patent Agency Ranking