公开(公告)号：CN106504971B

公开(公告)日：2018-03-16

申请号：CN201710002475.8

申请日：2017-01-03

Applicant: 京东方科技集团股份有限公司 ,  合肥京东方光电科技有限公司

Inventor： 李宛泽 ,  刘轩 ,  刘祖宏

IPC: H01J37/32

Abstract: 本发明提供一种等离子刻蚀方法及等离子刻蚀装置，涉及显示技术领域，可提高基板良率。所述等离子刻蚀方法包括：从刻蚀腔室中实时采集获取波长‑光强图，并根据所述波长‑光强图，得到所述刻蚀腔室内含量最多的生成物；根据所述生成物实时控制所述刻蚀腔室内的温度。用于刻蚀待刻蚀基板。

公开(公告)号：CN106504971A

公开(公告)日：2017-03-15

申请号：CN201710002475.8

申请日：2017-01-03

Applicant: 京东方科技集团股份有限公司 ,  合肥京东方光电科技有限公司

Inventor： 李宛泽 ,  刘轩 ,  刘祖宏

IPC: H01J37/32

CPC classification number: H01J37/32935 ,  H01J37/32853 ,  H01J37/32963 ,  H01J37/32972 ,  H01J37/32981

Abstract: 本发明提供一种等离子刻蚀方法及等离子刻蚀装置，涉及显示技术领域，可提高基板良率。所述等离子刻蚀方法包括：从刻蚀腔室中实时采集获取波长-光强图，并根据所述波长-光强图，得到所述刻蚀腔室内含量最多的生成物；根据所述生成物实时控制所述刻蚀腔室内的温度。用于刻蚀待刻蚀基板。

公开(公告)号：CN206345455U

公开(公告)日：2017-07-21

申请号：CN201720003903.4

申请日：2017-01-03

Applicant: 合肥京东方光电科技有限公司 ,  京东方科技集团股份有限公司

Inventor： 李宛泽 ,  曲坤 ,  刘祖宏

IPC: B65G49/06

Abstract: 本实用新型公开了一种基板传送装置，包括多个并排设置的传送滚轮，以及用于对各传送滚轮进行清洁的清洁部件。通过设置清洁部件，可以在传送滚轮转动的时候，及时将传送滚轮上的异物去除，避免异物损坏传送滚轮或玻璃基板。

公开(公告)号：CN205803315U

公开(公告)日：2016-12-14

申请号：CN201620792890.9

申请日：2016-07-26

Applicant: 合肥京东方光电科技有限公司 ,  京东方科技集团股份有限公司

Inventor： 曲坤 ,  李宛泽 ,  满志金

IPC: C03B33/10 ,  C03B33/02

Abstract: 本实用新型公开了一种玻璃分割工具，涉及玻璃分割设备技术领域。为解决现有技术中采用钳子将玻璃破碎成多个小块时产生的碎削较多，容易对设备或环境产生污染的问题而发明。本实用新型玻璃分割工具包括保持架，所述保持架上设有第一切割刀具和限位结构，所述第一切割刀具与所述保持架通过第一弹性件弹性连接，所述第一切割刀具的刀头与所述限位结构相对且间隔设置，且所述第一切割刀具的刀头与所述限位结构之间的间隙宽度小于待切割玻璃的厚度。本实用新型玻璃分割工具可用于减小分割玻璃时产生的碎削量。