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公开(公告)号:CN1633524A
公开(公告)日:2005-06-29
申请号:CN03804161.8
申请日:2003-02-19
申请人: 于西纳公司
CPC分类号: H01J37/32009 , B08B7/0035 , C23G5/00 , H01J37/32348 , H01J2237/335 , H05H1/2406 , H05H2001/2412
摘要: 本发明涉及对涂敷有有机物质的材料(2)表面连续清洁的方法。本发明的方法包括以下步骤,包括:引导材料(2)进入提供有含氧的气流的处理区中;使材料(2)接地,并通过在材料(2)的表面和至少一个覆盖介质的电极(3)之间施加电场而产生等离子体,所述电场是脉冲形式的并包括相对于材料(2)的连续正和负电压脉冲。并且,正脉冲的最大值电压U+大于电弧放电电压Ua,负脉冲的最大绝对值电压U-小于放电电压Ua。本发明也涉及用于执行所述方法的发生器和装置。
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公开(公告)号:CN101014222B
公开(公告)日:2010-11-03
申请号:CN200710085733.X
申请日:2003-02-19
申请人: 于西纳公司
CPC分类号: H01J37/32009 , B08B7/0035 , C23G5/00 , H01J37/32348 , H01J2237/335 , H05H1/2406 , H05H2001/2412
摘要: 本发明涉及可用于实施对涂敷有有机物质的材料(2)表面连续清洁的方法的发生器(4)。本发明的方法包括以下步骤:引导材料(2)进入提供有含氧的气流的处理区中;使材料(2)接地,并通过在材料(2)的表面和至少一个覆盖介质的电极(3)之间施加电场而产生等离子体,所述电场是脉冲形式的并包括相对于材料(2)的连续正和负电压脉冲。并且,正脉冲的最大值电压U+大于电弧放电电压Ua,负脉冲的最大绝对值电压U-小于放电电压Ua。该发生器(4)包括供给1至200kHz频率的低压脉冲的低压电源,并且包括用于将所述低压脉冲转换成高压脉冲的器件。
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公开(公告)号:CN101014222A
公开(公告)日:2007-08-08
申请号:CN200710085733.X
申请日:2003-02-19
申请人: 于西纳公司
CPC分类号: H01J37/32009 , B08B7/0035 , C23G5/00 , H01J37/32348 , H01J2237/335 , H05H1/2406 , H05H2001/2412
摘要: 本发明涉及可用于实施对涂敷有有机物质的材料(2)表面连续清洁的方法的发生器(4)。本发明的方法包括以下步骤:引导材料(2)进入提供有含氧的气流的处理区中;使材料(2)接地,并通过在材料(2)的表面和至少一个覆盖介质的电极(3)之间施加电场而产生等离子体,所述电场是脉冲形式的并包括相对于材料(2)的连续正和负电压脉冲。并且,正脉冲的最大值电压U+大于电弧放电电压Ua,负脉冲的最大绝对值电压U-小于放电电压Ua。该发生器(4)包括供给1至200kHz频率的低压脉冲的低压电源,并且包括用于将所述低压脉冲转换成高压脉冲的器件。
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公开(公告)号:CN1311100C
公开(公告)日:2007-04-18
申请号:CN03804161.8
申请日:2003-02-19
申请人: 于西纳公司
CPC分类号: H01J37/32009 , B08B7/0035 , C23G5/00 , H01J37/32348 , H01J2237/335 , H05H1/2406 , H05H2001/2412
摘要: 本发明涉及对涂敷有有机物质的材料(2)表面连续清洁的方法。本发明的方法包括以下步骤,包括:引导材料(2)进入提供有含氧的气流的处理区中;使材料(2)接地,并通过在材料(2)的表面和至少一个覆盖介质的电极(3)之间施加电场而产生等离子体,所述电场是脉冲形式的并包括相对于材料(2)的连续正和负电压脉冲。并且,正脉冲的最大值电压U+大于电弧放电电压Ua,负脉冲的最大绝对值电压U-小于放电电压Ua。本发明也涉及用于执行所述方法的发生器和装置。
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