公开(公告)号：CN117930600B

公开(公告)日：2024-07-09

申请号：CN202410330745.8

申请日：2024-03-22

Applicant: 之江实验室

Inventor： 杨顺华 ,  谷松韵 ,  苏晨怡

IPC: G03F7/20 ,  G02B26/08 ,  G02B26/10

Abstract: 本发明公开一种基于DMD实现双光束时空调制及扫描的打印方法及系统。该系统将单个DMD分为两个半区实现对两束窄带激光的独立高速调制，并利用二值全息术实现对其衍射级次的三维随机扫描及精确对准。进一步的，本发明还可以在空间域和时间域对两束激光进行任意调制，以适用不同曝光条件的刻写介质。通过匹配物镜的数值孔径和双光束在物镜后孔阑的距离，两束激光在物镜下垂直相交，从而实现更优的等效点扩散函数，并达到接近1：1的体素纵横比。该系统具有高灵活度，高稳定性，低复杂度和低成本的特点，适用于高通量的三维超分辨打印领域。

公开(公告)号：CN117930600A

公开(公告)日：2024-04-26

申请号：CN202410330745.8

申请日：2024-03-22

Applicant: 之江实验室

Inventor： 杨顺华 ,  谷松韵 ,  苏晨怡

IPC: G03F7/20 ,  G02B26/08 ,  G02B26/10

Abstract: 本发明公开一种基于DMD实现双光束时空调制及扫描的打印方法及系统。该系统将单个DMD分为两个半区实现对两束窄带激光的独立高速调制，并利用二值全息术实现对其衍射级次的三维随机扫描及精确对准。进一步的，本发明还可以在空间域和时间域对两束激光进行任意调制，以适用不同曝光条件的刻写介质。通过匹配物镜的数值孔径和双光束在物镜后孔阑的距离，两束激光在物镜下垂直相交，从而实现更优的等效点扩散函数，并达到接近1：1的体素纵横比。该系统具有高灵活度，高稳定性，低复杂度和低成本的特点，适用于高通量的三维超分辨打印领域。