公开(公告)号：CN117539129A

公开(公告)日：2024-02-09

申请号：CN202311449276.3

申请日：2023-10-31

Applicant: 之江实验室

Inventor： 张娜 ,  孙琦 ,  罗昊 ,  朱大钊 ,  匡翠方

IPC: G03F7/20 ,  G02B27/00 ,  G02B27/28 ,  G02B5/18 ,  G02B5/04

Abstract: 本申请涉及一种基于色散补偿的光纤传输激光直写光刻系统。所述系统包括依次设置的激光器、色散补偿模块、分光模块和刻写模块，由所述激光器产生飞秒激光至所述色散补偿模块，所述飞秒激光经过所述色散补偿模块出射带有负色散的脉冲光束，所述带有负色散的脉冲光束经过所述分光模块进行偏振方向调节，同时所述负色散与所述分光模块中光纤阵列产生的正色散相互抵消，输出多通道飞秒脉宽刻写光束，所述多通道飞秒脉宽刻写光束经过所述刻写模块进行准直投射，输出多通道衍射极限刻写光斑进行并行刻写。采用本方法能够对大模场光纤阵列产生的非线性色散进行补偿，实现飞秒量级的刻写光束脉宽，提高了刻写效率。

公开(公告)号：CN117518745A

公开(公告)日：2024-02-06

申请号：CN202311698340.1

申请日：2023-12-12

Applicant: 之江实验室

Inventor： 孙琦 ,  罗昊 ,  张娜 ,  孙秋媛 ,  匡翠方

IPC: G03F7/20

Abstract: 本申请涉及一种光纤激光直写系统和光纤激光直写方法，其中，该光纤激光直写系统包括：发射模块、调整模块，光纤补偿模块、光栅补偿模块、光纤分束模块以及空间光路模块。其中通过光纤补偿模块、光栅补偿模块实现对光纤分束模块和空间光路中产生的线性或非线性色散的预补偿，通过调节第一光纤和第二光纤的长度，使两段光纤中产生的非线性色散相抵消，并利用光栅补偿模块中的光栅对，补偿光纤和空间光路传输中产生的线性色散，消除光纤传输造成的线性脉宽展宽和非线性脉宽展宽，从而解决了相关技术中脉宽展宽造成的光纤激光直写的刻写精度低的问题，提高了光纤激光直写的刻写精度。

公开(公告)号：CN116466547A

公开(公告)日：2023-07-21

申请号：CN202310304049.5

申请日：2023-03-21

Applicant: 之江实验室

Inventor： 张娜 ,  匡翠方 ,  罗昊 ,  孙琦 ,  朱大钊

IPC: G03F7/20

Abstract: 本发明公开了一种基于光纤传输的超分辨直写式光刻系统，包括激光模块，抑制模块，合束模块，样品台以及位移台；所述激光模块，用于产生多路并行的圆形实心直写光束；所述抑制路模块，用于产生多路并行的环形光束；所述合束模块，用于将每一路中圆形实心直写光束和环形光束的光斑中心重合，获得刻写光束；所述样品台布置在位移台上，用于固定待刻写的样品；所述位移台，根据预设移动路线，在刻写过程中带动样品台上的样品做水平位移；所述刻写光束聚焦到样品上，引发光刻胶聚合反应生成刻写图案。本发明还提供了一种超分辨直写式光刻方法。本发明提供的系统可以有效提高刻写过程的刻写效率和刻写分辨率。