公开(公告)号：CN117015747A

公开(公告)日：2023-11-07

申请号：CN202280021569.9

申请日：2022-03-25

Applicant: 丸善石油化学株式会社

Inventor： 田畑大辅 ,  塚本达也 ,  古家义之 ,  佐藤辽

IPC: G03F7/26

Abstract: 本发明的课题是提供一种方法，其能够通过不需要繁琐的工序而简易的方法、并且以高灵敏度对抗蚀剂用聚合物的溶解特性进行评价。本发明的解决手段为：根据本发明的抗蚀剂用聚合物的溶解特性的评价方法包括下述的工序(i)～(iii)：工序(i)，将抗蚀剂用聚合物溶解于溶剂而制备试验液的工序；工序(ii)，一边对前述试验液进行搅拌一边滴加溶剂，实时地测量此时的溶剂的滴加重量、和试验液的浊度的变化的工序；以及工序(iii)，算出直至前述试验液的浊度达到规定值为止的溶剂的滴加量的工序。

公开(公告)号：CN115210208B

公开(公告)日：2025-05-23

申请号：CN202180018744.4

申请日：2021-06-18

Applicant: 丸善石油化学株式会社

Inventor： 箱田侑真 ,  藤泽亮 ,  羽场一彦 ,  田畑大辅 ,  古家义之 ,  佐藤辽 ,  及川知

IPC: C07C37/56 ,  C07C37/01 ,  C07C37/74 ,  C07C39/19 ,  C07C39/20 ,  C08F12/22 ,  C08F212/14

Abstract: 本发明的课题是提供适合作为用于以商业规模制造4‑羟基苯乙烯系聚合物的原料的、高纯度且保存稳定性良好的4‑羟基苯乙烯溶液及其制造方法。本发明的解决手段为，基于本发明的4‑羟基苯乙烯溶液的制造方法包括以下的(i)～(iv)的工序：(i)使4‑乙酰氧基苯乙烯在溶剂中与碱接触从而生成4‑羟基苯乙烯的脱保护工序；(ii)向脱保护后的包含4‑羟基苯乙烯的溶液中加入酸从而进行中和的中和工序；(iii)对中和后的包含4‑羟基苯乙烯的溶液进行水洗的工序；(iv)向包含4‑羟基苯乙烯的溶液中加入能溶解4‑羟基苯乙烯的溶剂，于40℃以下进行蒸馏，将除4‑羟基苯乙烯以外的成分及多余的溶剂蒸馏除去的溶剂置换工序。

公开(公告)号：CN115210208A

公开(公告)日：2022-10-18

申请号：CN202180018744.4

申请日：2021-06-18

Applicant: 丸善石油化学株式会社

Inventor： 箱田侑真 ,  藤泽亮 ,  羽场一彦 ,  田畑大辅 ,  古家义之 ,  佐藤辽 ,  及川知

IPC: C07C37/56 ,  C07C37/01 ,  C07C37/74 ,  C07C39/19 ,  C07C39/20 ,  C08F12/22 ,  C08F212/14

Abstract: 本发明的课题是提供适合作为用于以商业规模制造4‑羟基苯乙烯系聚合物的原料的、高纯度且保存稳定性良好的4‑羟基苯乙烯溶液及其制造方法。本发明的解决手段为，基于本发明的4‑羟基苯乙烯溶液的制造方法包括以下的(i)～(iv)的工序：(i)使4‑乙酰氧基苯乙烯在溶剂中与碱接触从而生成4‑羟基苯乙烯的脱保护工序；(ii)向脱保护后的包含4‑羟基苯乙烯的溶液中加入酸从而进行中和的中和工序；(iii)对中和后的包含4‑羟基苯乙烯的溶液进行水洗的工序；(iv)向包含4‑羟基苯乙烯的溶液中加入能溶解4‑羟基苯乙烯的溶剂，于40℃以下进行蒸馏，将除4‑羟基苯乙烯以外的成分及多余的溶剂蒸馏除去的溶剂置换工序。