燃料电池的漏气检查装置及其方法

    公开(公告)号:CN114544102A

    公开(公告)日:2022-05-27

    申请号:CN202111305718.8

    申请日:2021-11-05

    Inventor: 马场哲治

    Abstract: 本发明的燃料电池的漏气检查装置具备:第一供给管,其具有能够安装于燃料电池的阳极的阳极连接部;第一气密机构,其用于使阳极以及第一供给管气密;阳极压力测量部,其用于检测阳极的内压;第二供给管,其具有能够安装于阴极的阴极连接部;第二气密机构,其用于使阴极以及第二供给管气密;阴极压力测量部,其用于检测阴极的内压;以及连通状态切换部,其包括一端与第一供给管连接、且另一端与第二供给管连接的连结管,能够切换第一供给管与第二供给管连通的连通状态、和第一供给管与第二供给管不连通的非连通状态。

    等离子体装置
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN108220907A

    公开(公告)日:2018-06-29

    申请号:CN201711326795.5

    申请日:2017-12-13

    Abstract: 本发明提供一种等离子体装置,在对工件进行等离子体处理的等离子体装置中,抑制处理对象物的变形。等离子体装置具备容器,该容器具有相向配置的第一模及第二模,将工件密封在关闭的第一模及第二模的内部。工件具有:处理对象物,具有处理对象部分和处理对象部分的外周的非处理对象部分;及掩模部件,覆盖非处理对象部分。第一模具有:相向平面部,与工件的外周表面相向配置;第一凹陷部,与处理对象部分相向配置并产生等离子体;及第二凹陷部,在相向平面部与第一凹陷部之间与非处理对象部分相向配置并产生等离子体。第二凹陷部的深度设定为与第一凹陷部的深度不同的值。

    等离子体装置
    3.
    发明授权

    公开(公告)号:CN108220907B

    公开(公告)日:2020-02-18

    申请号:CN201711326795.5

    申请日:2017-12-13

    Abstract: 本发明提供一种等离子体装置,在对工件进行等离子体处理的等离子体装置中,抑制处理对象物的变形。等离子体装置具备容器,该容器具有相向配置的第一模及第二模,将工件密封在关闭的第一模及第二模的内部。工件具有:处理对象物,具有处理对象部分和处理对象部分的外周的非处理对象部分;及掩模部件,覆盖非处理对象部分。第一模具有:相向平面部,与工件的外周表面相向配置;第一凹陷部,与处理对象部分相向配置并产生等离子体;及第二凹陷部,在相向平面部与第一凹陷部之间与非处理对象部分相向配置并产生等离子体。第二凹陷部的深度设定为与第一凹陷部的深度不同的值。

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