公开(公告)号：CN101646805A

公开(公告)日：2010-02-10

申请号：CN200880000829.4

申请日：2008-03-19

Applicant: 丰田自动车株式会社

Inventor： 伊藤直树 ,  松村安行 ,  松井一也

IPC: C23C18/16 ,  C23C18/02

CPC classification number: C25D9/08

Abstract: 一种制备金属氧化物薄膜(70)的方法，所述方法包括电镀步骤，在该步骤中使用含二甲基亚砜和卤素的基于甲基酮的有机溶液(20)作为电镀溶液。将该具有腐蚀性的有机溶液作为所述电镀溶液，能够形成非水溶性的金属氧化物薄膜。此外，由于所述有机溶液中含有卤素和二甲基亚砜，因此所形成的金属氧化物薄膜具有高厚度均匀性和高致密性。

公开(公告)号：CN101646805B

公开(公告)日：2011-05-11

申请号：CN200880000829.4

申请日：2008-03-19

Applicant: 丰田自动车株式会社

Inventor： 伊藤直树 ,  松村安行 ,  松井一也

IPC: C23C18/16 ,  C23C18/02

CPC classification number: C25D9/08

Abstract: 一种制备金属氧化物薄膜(70)的方法，所述方法包括电镀步骤，在该步骤中使用含二甲基亚砜和卤素的基于甲基酮的有机溶液(20)作为电镀溶液。将该具有腐蚀性的有机溶液作为所述电镀溶液，能够形成非水溶性的金属氧化物薄膜。此外，由于所述有机溶液中含有卤素和二甲基亚砜，因此所形成的金属氧化物薄膜具有高厚度均匀性和高致密性。