-
公开(公告)号：CN116762492A
公开(公告)日：2023-09-15
申请号：CN202280009075.9
申请日：2022-01-19
Applicant: 丰元精密株式会社
Abstract: 本发明涉及一种用于制造大面积显示器用精细金属掩模的多个光掩模对准装置及对准方法，更详细地，提供一种用于制造大面积显示器用精细金属掩模的多个光掩模对准装置，其特征在于，包括：对准基准部，形成有至少两个对准基准点，所述对准基准点位于与对准标记重叠的位置；以及摄像装置，安装在能够拍摄所述对准基准部与对准标记的重叠状态的位置，其中，所述对准基准点中的至少一个与形成在多个光掩模中的第一光掩模上的对准标记重叠，并且剩余的对准基准点与形成在第二光掩模上的对准标记重叠，所述第二光掩模与所述第一光掩模相邻地对准。
-
公开(公告)号：CN116724683A
公开(公告)日：2023-09-08
申请号：CN202180089361.6
申请日：2021-11-05
Applicant: 丰元精密株式会社
Abstract: 本发明涉及一种用于大面积显示器的精细金属掩模及其制造方法，更具体而言，上述精细金属掩模包括形成有用于沉积光学元件的通孔图案的有效部以及形成在上述有效部的两端以在光学元件的沉积过程中用作支撑体的夹持部，上述精细金属掩模的制造方法包括：在用于制造精细金属掩模的金属面板的一个区域上涂覆光致抗蚀剂的步骤；在涂覆有上述光致抗蚀剂的金属面板上堆叠形成有图案的光掩模的步骤；对堆叠有上述光掩模的光致抗蚀剂区域中的中心部区域进行曝光的步骤；及通过激光加工成型从上述中心部区域向两端部延伸的区域的步骤；上述中心部区域为精细金属掩模的有效部，通过激光加工成型的两端部延伸区域为精细金属掩模的夹持部。
-
公开(公告)号：CN116710848A
公开(公告)日：2023-09-05
申请号：CN202280009076.3
申请日：2022-01-19
Applicant: 丰元精密株式会社
Abstract: 本发明涉及一种用于制造大面积显示器用精细金属掩模的多个光掩模对准装置及对准方法，更详细地提供一种用于制造大面积显示器用精细金属掩模的多个光掩模对准装置，其特征在于，包括：光掩模安装支架；光掩模吸附部，形成在所述光掩模安装支架的边缘上；对准基准部，形成有至少两个对准基准点，所述对准基准点位于与对准标记重叠的位置；以及摄像装置，安装在能够拍摄所述对准基准部与对准标记的重叠状态的位置，所述对准基准点中的至少一个与形成在多个光掩模中的第一光掩模上的对准标记重叠，并且剩余的对准基准点与形成在第二光掩模上的对准标记重叠，所述第二光掩模与所述第一光掩模相邻地对准。
-
-
Search Results
3
records
(took 0.016 seconds)
