公开(公告)号：CN113924270B

公开(公告)日：2024-06-04

申请号：CN201980095327.2

申请日：2019-04-15

Applicant: 中部电力株式会社 ,  日酸TANAKA株式会社

Inventor： 伊原大辅 ,  佐野义美 ,  吉本博文 ,  清水秀昭 ,  桥本英明 ,  竹内章浩 ,  东本清文

IPC: C01B32/914 ,  C04B35/56 ,  H05H1/34

Abstract: 等离子体电极用碳化铪粉末由化学式HfCx(其中x＝0.5～1.0)表示。在碳化铪粉末中作为杂质包含的碳颗粒的含量为0.03质量％以下。碳化铪粉末的平均粒径优选为0.5～2μm。在制造碳化铪粉末时，首先将由氧化铪与碳的混合粉构成的粒料收纳在碳化硅制的第2坩埚内。之后，在将第2坩埚配置在碳制的第1坩埚内的状态下在1800～2000℃进行加热，由此生成碳化铪粉末。

公开(公告)号：CN113924270A

公开(公告)日：2022-01-11

申请号：CN201980095327.2

申请日：2019-04-15

Applicant: 中部电力株式会社 ,  日酸TANAKA株式会社

Inventor： 伊原大辅 ,  佐野义美 ,  吉本博文 ,  清水秀昭 ,  桥本英明 ,  竹内章浩 ,  东本清文

IPC: C01B32/914 ,  C04B35/56 ,  H05H1/34

Abstract: 等离子体电极用碳化铪粉末由化学式HfCx(其中x＝0.5～1.0)表示。在碳化铪粉末中作为杂质包含的碳颗粒的含量为0.03质量％以下。碳化铪粉末的平均粒径优选为0.5～2μm。在制造碳化铪粉末时，首先将由氧化铪与碳的混合粉构成的粒料收纳在碳化硅制的第2坩埚内。之后，在将第2坩埚配置在碳制的第1坩埚内的状态下在1800～2000℃进行加热，由此生成碳化铪粉末。