公开(公告)号：CN115452987B

公开(公告)日：2023-05-30

申请号：CN202211112976.9

申请日：2022-09-14

Applicant: 中船(邯郸)派瑞特种气体股份有限公司

Inventor： 李帅楠 ,  郑秋艳 ,  李旭 ,  张艳志 ,  縢莹 ,  沙婷 ,  侯雨飞

IPC: G01N30/02 ,  G01N30/20 ,  G01N30/32 ,  G01N30/64

公开(公告)号：CN115452987A

公开(公告)日：2022-12-09

申请号：CN202211112976.9

申请日：2022-09-14

Applicant: 中船(邯郸)派瑞特种气体股份有限公司

Inventor： 李帅楠 ,  郑秋艳 ,  李旭 ,  张艳志 ,  縢莹 ,  沙婷 ,  侯雨飞

IPC: G01N30/02 ,  G01N30/20 ,  G01N30/32 ,  G01N30/64

Abstract: 本发明提供了一种高纯磷烷氮气混合气的分析装置，包括三个气动十通阀，五个气动六通阀，两个氦离子化检测器，载气主管分为第一至第九载气支管，四个定量环，九个色谱柱。本发明通过一次进样，经阀切换，色谱柱分离后，可完成高纯磷烷氮气混合气中各种微量杂质的分析，且检测灵敏度高，稳定性好，分析周期短，定量准确上有重大突破。