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公开(公告)号:CN102992642B
公开(公告)日:2015-01-14
申请号:CN201210327831.0
申请日:2012-09-06
Applicant: 中外炉工业株式会社
IPC: C03C17/00
Abstract: 一种基板供给装置(1),能在短时间内更换基板,其包括:多个臂部(4),这些臂部(4)设置成能一体地旋转及升降,且绕转轴对称地设置;多个小平台(6),这些小平台(6)分别被支承成与臂部(4)之间存在游隙,且所述小平台能对基板进行保持;以及主平台(7),该主平台(7)利用臂部(4)的旋转及升降来载置小平台(6),且包括在游隙的范围内对小平台(6)进行定位并保持的平台保持机构(9、10)。
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公开(公告)号:CN101204707B
公开(公告)日:2010-06-02
申请号:CN200710196999.1
申请日:2007-12-07
Applicant: 中外炉工业株式会社
CPC classification number: B05B15/555
Abstract: 本发明的排出管嘴清洗设备通过使用多个适当布置的清洗元件提供了高效的清洗操作。前部清洗组件(5)和后部清洗组件(6)分别安装在沿可升降的排出管嘴(1)的长度移动的滑动基座(4)的前部及后部区域。每个清洗组件都配备有柔性主清洗叶片(7),所述柔性主清洗叶片与排出管嘴的唇口块状部(3)的外轮廓的形状一致并在排出管嘴的下降位置处相对唇口块状部柔性滑动。一对洗涤管嘴(8)相对于滑动基座的移动方向安装在每个主清洗叶片的前面,一个洗涤管嘴面向唇口块状部的各侧,并通过将洗涤流体喷涂到唇口块状部上进行操作。相邻每个主清洗叶片安装的抽吸部分通过施加真空进行操作以去除洗涤流体。在前部及后部清洗组件之间安装到滑动基座的两个柔性辅助叶片(10)沿唇口块状部移动,同时在排出管嘴的下降位置处柔性压在唇口块状部上,每个辅助叶片被定向为相对于滑动基座的移动方向在向前方向上相对唇口块状部柔性弯折并弯曲。
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公开(公告)号:CN108212694B
公开(公告)日:2019-05-10
申请号:CN201711224793.5
申请日:2017-11-29
Applicant: 中外炉工业株式会社
Abstract: 一种涂布液供给装置(3),包括:收容涂布液的收容容器(5);在收容容器(5)内沿轴向移动,使收容于收容容器(5)的涂布液从收容容器(5)吐出的杆(6);以及将收容于收容容器(5)的涂布液(P)与杆(6)隔离,以与杆(6)形成封闭空间即封入空间(9)的方式安装于杆(6),并且相对于杆(6)的轴向移动进行伸缩的波纹管构件(8),在封入空间(9)封入有液体(W)。
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公开(公告)号:CN103990578B
公开(公告)日:2016-09-14
申请号:CN201410037514.4
申请日:2014-01-26
Applicant: 中外炉工业株式会社
Abstract: 本发明提供一种能够提高涂层后的面板件的生产效率的辊搬运式涂敷机。具备:背衬辊(4),其从下方支承基板(2);涂料排出模(6),其朝向由背衬辊支承的基板而排出涂料;上游侧搬运辊(3a)及下游侧搬运辊(3b),其为了在规定方向上搬运基板而并列配置于背衬辊的上游侧及下游侧;空吸机构(8),其借助在从背衬辊的上游侧到下游侧的整个范围内设置的吸引孔而产生朝向下方的气流(E);前端卡合移动构件(16),其与搬运至越过背衬辊的位置为止的基板的前端部卡合,与该基板一并覆盖吸引孔,并且与基板同步地移动;后端卡合移动构件(17),其与搬运到吸引孔上的基板的后端部卡合,与该基板一并覆盖吸引孔,并且与基板同步地移动。
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公开(公告)号:CN101204696A
公开(公告)日:2008-06-25
申请号:CN200710128041.9
申请日:2007-06-22
Applicant: 中外炉工业株式会社
Abstract: 一种涂布方法,一边使涂布液(2)从设在涂布用涂布头(10)的前端面上的狭缝状排出口(11)供给到被涂布体(1)一边使涂布用涂布头移动,将涂布液涂布在被涂布体的表面上,此时使从涂布用涂布头的排出口排出的涂布液保持在涂布用涂布头的前端面上,在待机至如此保持的涂布液均匀后,使涂布用涂布头下降而使保持的涂布液与被涂布体的表面接触,然后,一边将规定量的涂布液从排出口排出一边使涂布用涂布头上升到被涂布体隔有所需间隔(D)的涂布开始位置。采用本发明,在一边使涂布液从狭缝状排出口排出一边使涂布用涂布头移动而将涂布液涂布在被涂布体的表面上时,可防止发生沿移动方向的条纹不均情况,并可抑制涂布开始位置的涂布液的膜厚变厚的情况。
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公开(公告)号:CN105312193B
公开(公告)日:2018-11-16
申请号:CN201410705063.7
申请日:2014-11-26
Applicant: 中外炉工业株式会社
Abstract: 本发明提供一种涂敷装置及其改良方法,该涂敷装置具备涂敷对象物的移送功能,能够使设备节约空间化,并且在因设备的布局变更等进行移动设置时,也不会招致成本提高。在涂敷装置(1)中,具有喷出涂敷液的喷嘴(7)的移动体(6)与载置于工作台(4)的基板(3)相对移动,向基板涂敷从喷嘴喷出的涂敷液,支承基板且将其向工作台移送的支承臂(10)设于移动体。
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公开(公告)号:CN102992642A
公开(公告)日:2013-03-27
申请号:CN201210327831.0
申请日:2012-09-06
Applicant: 中外炉工业株式会社
IPC: C03C17/00
Abstract: 一种基板供给装置(1),能在短时间内更换基板,其包括:多个臂部(4),这些臂部(4)设置成能一体地旋转及升降,且绕转轴对称地设置;多个小平台(6),这些小平台(6)分别被支承成与臂部(4)之间存在游隙,且所述小平台能对基板进行保持;以及主平台(7),该主平台(7)利用臂部(4)的旋转及升降来载置小平台(6),且包括在游隙的范围内对小平台(6)进行定位并保持的平台保持机构(9、10)。
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公开(公告)号:CN101204696B
公开(公告)日:2012-07-25
申请号:CN200710128041.9
申请日:2007-06-22
Applicant: 中外炉工业株式会社
Abstract: 一种涂布方法,一边使涂布液(2)从设在涂布用涂布头(10)的前端面上的狭缝状排出口(11)供给到被涂布体(1)一边使涂布用涂布头移动,将涂布液涂布在被涂布体的表面上,此时使从涂布用涂布头的排出口排出的涂布液保持在涂布用涂布头的前端面上,在待机至如此保持的涂布液均匀后,使涂布用涂布头下降而使保持的涂布液与被涂布体的表面接触,然后,一边将规定量的涂布液从排出口排出一边使涂布用涂布头上升到被涂布体隔有所需间隔(D)的涂布开始位置。采用本发明,在一边使涂布液从狭缝状排出口排出一边使涂布用涂布头移动而将涂布液涂布在被涂布体的表面上时,可防止发生沿移动方向的条纹不均情况,并可抑制涂布开始位置的涂布液的膜厚变厚的情况。
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公开(公告)号:CN101229540B
公开(公告)日:2010-07-28
申请号:CN200810003322.6
申请日:2008-01-16
Applicant: 中外炉工业株式会社
Abstract: 本发明的涂布液供给装置能实现密封的稳定性的提高、吸引时间的缩短等。在注射泵(2)的缸盖(9)的内表面(9a)中的凹部底部(9e)上,在同一个圆周上设置有供应口(18a、18b)和吐出口(19)。在设于切换杆(24)前端的阀板(26)上设置有与供应口(18a、18b)和吐出口(19)对应的贯通孔(27a、27b)。切换杆(24)由旋转式驱动器(23)驱动而旋转,受到螺旋弹簧(48)朝着将阀板(26)推压在缸盖(9)的凹部底部(9e)上的方向的弹性施力。
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公开(公告)号:CN101229540A
公开(公告)日:2008-07-30
申请号:CN200810003322.6
申请日:2008-01-16
Applicant: 中外炉工业株式会社
Abstract: 本发明的涂布液供给装置能实现密封的稳定性的提高、吸引时间的缩短等。在注射泵(2)的缸盖(9)的内表面(9a)中的凹部底部(9e)上,在同一个圆周上设置有供应口(18a、18b)和吐出口(19)。在设于切换杆(24)前端的阀板(26)上设置有与供应口(18a、18b)和吐出口(19)对应的贯通孔(27a、27b)。切换杆(24)由旋转式驱动器(23)驱动而旋转,受到螺旋弹簧(48)朝着将阀板(26)推压在缸盖(9)的凹部底部(9e)上的方向的弹性施力。
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