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公开(公告)号：CN101209439A
公开(公告)日：2008-07-02
申请号：CN200710307314.6
申请日：2007-12-27
Applicant: 中外炉工业株式会社
Abstract: 一种涂布装置和涂布方法，相对于载放在支承台上的被涂布构件(13)而使涂布液排出装置(3)向水平方向移动，并驱动涂布液供给装置(2)将涂布液供给到所述涂布液排出装置(3)，通过涂布液排出装置(3)的喷嘴将涂布液涂布在所述被涂布构件上(13)。本发明的涂布装置具有：与从涂布液排出装置(3)至喷嘴的配管途中连通的分支管(19)；通过分支管(19)从喷嘴吸引涂布液的涂布液吸引装置(5)；根据涂布液排出装置(3)的喷嘴前端开口部到达被涂布构件(13)的最后涂布区域而使涂布液吸引装置(5)开始进行涂布液吸引动作的控制装置(6)。采用本发明，容易进行调整，长期使用难以产生故障，包含最后涂布位置在内将涂布在被涂布构件上的涂布液的膜厚分布做得均匀。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103934165B
公开(公告)日：2016-01-13
申请号：CN201310064345.9
申请日：2013-02-28
Applicant: 中外炉工业株式会社
IPC: B05C11/00
Abstract: 一种涂覆装置，对板材上的异物的检测灵敏度高，且在模头加速时也不会出现误检测。所述涂覆装置具有：检测构件（6），该检测构件（6）配置成下端在模头（1）的行进方向前方靠近板材（2），并能以下端朝模头（1）一侧移动的方式摆动；限位件（7），该限位件（7）与检测构件（6）抵接，来防止检测构件（6）的下端朝与模头（1）相反一侧移动这样的摆动；摆动传感器（8），该摆动传感器（8）对检测构件（6）的摆动进行检测；加速时施力构件（9），该加速时施力构件（9）能将检测构件（6）按压到限位件（7）；以及按压接触装置（10），在模头（1）加速时，所述按压接触装置（10）使加速时施力构件（9）与检测构件（6）按压接触。
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公开(公告)号：CN103934165A
公开(公告)日：2014-07-23
申请号：CN201310064345.9
申请日：2013-02-28
Applicant: 中外炉工业株式会社
IPC: B05C11/00
Abstract: 一种涂覆装置，对板材上的异物的检测灵敏度高，且在模头加速时也不会出现误检测。所述涂覆装置具有：检测构件（6），该检测构件（6）配置成下端在模头（1）的行进方向前方靠近板材（2），并能以下端朝模头（1）一侧移动的方式摆动；限位件（7），该限位件（7）与检测构件（6）抵接，来防止检测构件（6）的下端朝与模头（1）相反一侧移动这样的摆动；摆动传感器（8），该摆动传感器（8）对检测构件（6）的摆动进行检测；加速时施力构件（9），该加速时施力构件（9）能将检测构件（6）按压到限位件（7）；以及按压接触装置（10），在模头（1）加速时，所述按压接触装置（10）使加速时施力构件（9）与检测构件（6）按压接触。
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公开(公告)号：CN101209444B
公开(公告)日：2010-11-17
申请号：CN200710307339.6
申请日：2007-12-27
Applicant: 中外炉工业株式会社
IPC: B05C11/10
Abstract: 一种涂布液供给装置，该涂布液供给装置能可靠防止从涂布液收容部件漏出的涂布液到达外部。所述涂布液供给装置包括：收容涂布液、具有涂布液流动部(18)的涂布液收容部件(5)；以及插入在涂布液收容部件(5)内、通过涂布液流动部(18)将收容在涂布液收容部件(5)内的涂布液向外部输出的涂布液压出部件(6)。涂布液收容部件(5)在涂布液压出部件(6)的插入部(9)上具有涂布液回收部(22)，该涂布液回收部(22)用于回收经由插入部(9)漏出的涂布液。
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公开(公告)号：CN101209444A
公开(公告)日：2008-07-02
申请号：CN200710307339.6
申请日：2007-12-27
Applicant: 中外炉工业株式会社
IPC: B05C11/10
Abstract: 一种涂布液供给装置，该涂布液供给装置能可靠防止从涂布液收容部件漏出的涂布液到达外部。所述涂布液供给装置包括：收容涂布液、具有涂布液流动部(18)的涂布液收容部件(5)；以及插入在涂布液收容部件(5)内、通过涂布液流动部(18)将收容在涂布液收容部件(5)内的涂布液向外部输出的涂布液压出部件(6)。涂布液收容部件(5)在涂布液压出部件(6)的插入部(9)上具有涂布液回收部(22)，该涂布液回收部(22)用于回收经由插入部(9)漏出的涂布液。
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公开(公告)号：CN309258024S
公开(公告)日：2025-04-25
申请号：CN202430192265.0
申请日：2024-04-09
Applicant: 中外炉工业株式会社
Abstract: 1.本外观设计产品的名称：涂布装置用注出整流工具的涂液引导部。
2.本外观设计产品的用途：要求保护的局部外观设计所在的整体产品用于以预定的形状对晶片等基材的表面进行涂布的涂布装置，要求保护的局部外观设计安装于涂液注出用模头的注出口，并用于从注出口笔直地注出涂液。
3.本外观设计产品的设计要点：在于实线部分的形状。
4.最能表明设计要点的图片或照片：D部放大图。
5.右视图与左视图相同，省略右视图。
6.其他需要说明的情形其他说明：实线表示的部分是要求保护的部分，虚线表示的部分是不要求保护的部分，单点划线是要求保护的部分与不要求保护的部分之间的边界。
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