公开(公告)号：CN105236344A

公开(公告)日：2016-01-13

申请号：CN201510564464.X

申请日：2015-09-01

Applicant: 中国计量学院

Inventor： 韩建强 ,  厉森 ,  程冰 ,  尹伊君

IPC: B81B7/00 ,  B81B7/02 ,  B81C1/00 ,  G01R19/00

Abstract: 本发明公开了一种新型谐振式薄膜热电变换器的结构与制作方法。薄膜热电变换器由制作在同一衬底(1)上的加热电阻(2)、微桥谐振器A(3)、微桥谐振器B(4)组成。在加热电阻(2)通电后产生并辐射的热量引起微桥谐振器A(3)温度升高，其轴向压应力增加或拉应力下降，使得微桥谐振器A(3)的谐振频率下降。而微桥谐振器B(4)不感受加热电阻(2)辐射的热量，其谐振频率仅受衬底(1)和环境温度的影响，通过测量微桥谐振器A(3)和微桥谐振器B(4)谐振频率的差值即可反映出加载在加热电阻(2)上的输入电压或电流的大小。本发明所涉及的新型谐振式薄膜热电变换器具有以下优点：加热电阻(2)和微桥谐振器A(3)、微桥谐振器B(4)制作在同一衬底(1)上，简化了器件制作工艺和封装工艺。

公开(公告)号：CN104409622A

公开(公告)日：2015-03-11

申请号：CN201410545132.2

申请日：2014-10-15

Applicant: 中国计量学院

Inventor： 韩建强 ,  俞亦茂 ,  厉森 ,  程冰 ,  李青

IPC: H01L35/32 ,  H01L35/34

Abstract: 本发明公开了一种高频薄膜热电变换器的结构及制作方法。薄膜热电变换器的加热电阻(3)由中心的氮化硅或二氧化硅绝缘芯层(8)及包围绝缘芯层(8)的表面导电层(7)组成，可减小趋肤效应对薄膜热电变换器的热电转换性能的影响。在腐蚀绝热薄膜(2)的同时将加热电阻焊盘(5)之间硅衬底完全腐蚀。由于空气的介电常数远小于硅材料的介电常数，因此可以有效减小加热电阻焊盘(5)之间的电容，从而减小热电转换器过程中的交直流转换误差。