Patent search ap:("中国计量学院") AND inv:"俞亦茂" Page 1

1.

发明公开
一种高频薄膜热电变换器的结构及制作方法无效

公开(公告)号：CN104409622A

公开(公告)日：2015-03-11

申请号：CN201410545132.2

申请日：2014-10-15

Applicant: 中国计量学院

Inventor： 韩建强 , 俞亦茂 , 厉森 , 程冰 , 李青

IPC: H01L35/32 , H01L35/34

Abstract: 本发明公开了一种高频薄膜热电变换器的结构及制作方法。薄膜热电变换器的加热电阻(3)由中心的氮化硅或二氧化硅绝缘芯层(8)及包围绝缘芯层(8)的表面导电层(7)组成，可减小趋肤效应对薄膜热电变换器的热电转换性能的影响。在腐蚀绝热薄膜(2)的同时将加热电阻焊盘(5)之间硅衬底完全腐蚀。由于空气的介电常数远小于硅材料的介电常数，因此可以有效减小加热电阻焊盘(5)之间的电容，从而减小热电转换器过程中的交直流转换误差。

Patent Agency Ranking