一种基于PMAC高精度控制系统

    公开(公告)号:CN110531695A

    公开(公告)日:2019-12-03

    申请号:CN201910846989.0

    申请日:2019-09-09

    Abstract: 本发明属于电气控制技术领域,尤其是涉及一种基于PMAC高精度控制系统。包括依次相互连接的上位机、PMAC控制器、驱动器、工作台、光栅尺、激光干涉仪,其中光栅尺、激光干涉仪还与PMAC控制器相连接。工作台安装在驱动其运动的导轨驱动电机上,驱动器直接驱动导轨电机。本申请采用气浮式导轨支撑工作台的移动,具有结构简单、质量轻便和设计灵活的特点。通过PID算法反馈工作台的速度和位移,尤其通过光栅尺和激光干涉仪双反馈,使得工作台位移和速度响应更精准,保证工作台移动更精确。

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