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公开(公告)号:CN106931916A
公开(公告)日:2017-07-07
申请号:CN201710130912.4
申请日:2017-03-07
Applicant: 中国计量大学 , 上海市计量测试技术研究院
CPC classification number: G01B21/042 , G01B15/00 , G01Q40/02
Abstract: 本发明为一种微纳米台阶标准样板及其循迹方法,其特征在于:所述的微纳米台阶标准样板包括A工作区域及B循迹区域;所述的A工作区域内设有一个纳米级台阶、四个校准定位块及四个循迹参考定位块,通过所述B循迹区域内两对相互对称的等腰三角形形状的循迹标识符配合设置的设计单位标识符和样板型号标识符,确定微纳米台阶标准样板摆放方向与具体位置,通过所述A工作区域内的四个校准定位块在A工作区域内从纵向上快速校准定位,通过所述A工作区域内的四个循迹参考定位块在A工作区域内从横向上快速进行定位,并通过两两循迹参考定位块间的间隙确定测量的初始位置,完成整个校准过程,实现快速、高效的定位和校准,并具有很好的重复性。
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公开(公告)号:CN109341523B
公开(公告)日:2020-08-14
申请号:CN201811166364.1
申请日:2018-10-08
Applicant: 中国计量大学 , 上海市计量测试技术研究院
IPC: G01B11/00
Abstract: 本发明提供一种点衍射干涉三坐标测量装置探头端面调平方法,涉及测量技术领域。采用基于波面对称的探头零点位置调整方法,探测器获取初始波面数据,将探头旋转180°,平移探头再次获取波面,将波面数据旋转180°后与初始波面数据作差值,将探头平移至初始位置和差值为极小值位置的中点位置,为探头零点位置,调整探头的倾斜角并获取波面数据,利用泽尼克多项式拟合方法对波面数据进行拟合得到xy方向倾斜项系数,调节至该系数为极大值时的角度,实现探头端面调平。本发明解决了现有技术中探头端面相对探测面调平困难影响测量精度的技术问题。本发明有益效果为:确定探头端面状态,满足测量模型求解要求,使三维坐标重构结果更加快速和精确。
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公开(公告)号:CN109341523A
公开(公告)日:2019-02-15
申请号:CN201811166364.1
申请日:2018-10-08
Applicant: 中国计量大学 , 上海市计量测试技术研究院
IPC: G01B11/00
Abstract: 本发明提供一种点衍射干涉三坐标测量装置探头端面调平方法,涉及测量技术领域。采用基于波面对称的探头零点位置调整方法,探测器获取初始波面数据,将探头旋转180°,平移探头再次获取波面,将波面数据旋转180°后与初始波面数据作差值,将探头平移至初始位置和差值为极小值位置的中点位置,为探头零点位置,调整探头的倾斜角并获取波面数据,利用泽尼克多项式拟合方法对波面数据进行拟合得到xy方向倾斜项系数,调节至该系数为极大值时的角度,实现探头端面调平。本发明解决了现有技术中探头端面相对探测面调平困难影响测量精度的技术问题。本发明有益效果为:确定探头端面状态,满足测量模型求解要求,使三维坐标重构结果更加快速和精确。
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公开(公告)号:CN109307480B
公开(公告)日:2020-08-14
申请号:CN201811163319.0
申请日:2018-09-30
Applicant: 中国计量大学 , 上海市计量测试技术研究院
Abstract: 本发明提供一种透射元件多表面面形检测方法,涉及测量技术领域。利用逆向哈特曼光路检测装置测得待测元件波像差的前提下,使用计算机建立的模型化检测系统,在光线追迹模型中对待测元件各表面面形添加多组不同面形误差,获得相应波像差,通过求解模型化检测系统中波像差与实测波像差的差值最小值,最终得到待测透射元件的实际面形误差。本发明解决了现有技术中对透射元件的多表面检测不具有高精度及通用性的技术问题。本发明有益效果为:为透射元件多表面面形检测提供了一种高精度大动态范围的检测方法。
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公开(公告)号:CN109307480A
公开(公告)日:2019-02-05
申请号:CN201811163319.0
申请日:2018-09-30
Applicant: 中国计量大学 , 上海市计量测试技术研究院
Abstract: 本发明提供一种透射元件多表面面形检测方法,涉及测量技术领域。利用逆向哈特曼光路检测装置测得待测元件波像差的前提下,使用计算机建立的模型化检测系统,在光线追迹模型中对待测元件各表面面形添加多组不同面形误差,获得相应波像差,通过求解模型化检测系统中波像差与实测波像差的差值最小值,最终得到待测透射元件的实际面形误差。本发明解决了现有技术中对透射元件的多表面检测不具有高精度及通用性的技术问题。本发明有益效果为:为透射元件多表面面形检测提供了一种高精度大动态范围的检测方法。
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公开(公告)号:CN113466489A
公开(公告)日:2021-10-01
申请号:CN202110631589.5
申请日:2021-06-07
Applicant: 中国计量大学
Abstract: 本发明提供一种低粒子密度的单相机粒子图像测速方法,包括以下步骤:在流场中均匀地撒入示踪粒子,白色光源发出一束准直的稳定白色光束,光束经过滤波片后得到彩色片状光射入流场,照亮流场中的示踪粒子,CCD摄像机拍摄得到低粒子密度的彩色粒子图片并传送给上位机,上位机对低粒子密度的彩色粒子图片进行滤波处理和数据降采样,对处理后的低粒子密度的彩色粒子图片进行分析重建得到高粒子密度的三维粒子分布概率场后进行互相关计算得到流体三维速度场。本发明解决了现有技术中三维互相关算法应用在低粒子密度条件时存在的问题。
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公开(公告)号:CN110160443B
公开(公告)日:2021-04-20
申请号:CN201910394156.5
申请日:2019-05-13
Applicant: 中国计量大学
Abstract: 本发明公开了一种用于瞬态三坐标测量的光纤点衍射干涉装置,包括:光源,提供初始的入射光至光路调整模块;光路调整模块,将入射光分为若干束偏振光射出;数字偏振相机,接收出射光并采集所需干涉图像;计算机,与数字偏振相机连接,处理图像信息。本发明的实质性效果包括:采用偏振数字相机采集p偏振光和s偏振光经快轴方向与X轴呈45°夹角的四分之一波片得到的旋向相反的圆偏振光,两个旋向相反的偏振光经偏振数字相机前置的偏振片阵列后发生干涉,随着偏振片的透光轴方向旋转,干涉条纹相位也随之改变,无需PZT来实现微位移,降低了检测系统元件的复杂程度,提高了点衍射干涉系统的抗干扰能力。
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公开(公告)号:CN111781607A
公开(公告)日:2020-10-16
申请号:CN202010788052.5
申请日:2020-08-07
Applicant: 中国计量大学
Abstract: 本发明涉及一种基于激光调频连续波正反向调谐色散对消方法及装置;通过外腔可调谐激光器进行正反向调谐,得到正向调谐的测量信号以及反向调谐的测量信号;分别提取正反向测量信号的相位,并进行相位展开;通过将两个信号的相位相加求平均,实现色散相位的抵消,得到降低色散影响后的测量信号;对测量信号进行ChirpZ变换,即可得到降低色散影响的目标距离。本方法可以不需要预先标定装置的色散系数,也不需要循环迭代补偿,单次测量即可完成系统色散补偿,得到降低色散影响的目标距离,提高了FMCW激光测距装置的稳定性及测量精度。
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公开(公告)号:CN110375643A
公开(公告)日:2019-10-25
申请号:CN201910394168.8
申请日:2019-05-13
Applicant: 中国计量大学
Abstract: 本发明公开了一种基于激光连续扫频的三维坐标测量装置及测量方法,包括:光源,产生偏振初始光至第一分光模块;第一分光模块,将偏振初始光分为参考光及第二初始光;第二分光模块,将第二初始光分为若干束检测光至检测模块;检测模块,通过检测光经被测物反射后生产测量光入射到第一分光模块;处理模块,接收第一分光模块的参考光及测量光,并处理。方法包括:根据测量装置建立坐标系;打开光源进行测量数据获取;根据数据计算被测物三维坐标。本发明的实质性效果是:结构简单,不需要采集整幅的干涉信号,且对外界干涉不敏感,仅依靠微弱的激光就可以实现拍频信号的测量,能够实现远距离的三维坐标测量与定位。
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公开(公告)号:CN109883994A
公开(公告)日:2019-06-14
申请号:CN201910163812.0
申请日:2019-03-05
Applicant: 中国计量大学
IPC: G01N21/41
Abstract: 本发明公开了一种基于哈特曼光线追迹的非均匀介质场的测量方法,包括采用彩色三步移相法对影像进行计算并得到相位信息,采用反积分曲线三维重建算法计算得到测量空间内部存在的空气介质的折射率的变化数据;本发明采用彩色三步移相法,结合三维非均匀介质场的反积分曲线三维重建算法,通过投影屏和远心光学系统的组合设置,实现了对非均匀介质场的测量光线的准确追迹及对三维空间折射率的瞬态折射特性测量,大大提高了测量精确度和效率;并且基于哈特曼光线追迹的非均匀介质场的测量系统整体设计精密,测量精度高,成本较低,应用范围广,具有重要的理论意义和工程应用价值,适合推广应用。
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