公开(公告)号：CN116163001A

公开(公告)日：2023-05-26

申请号：CN202211476806.9

申请日：2022-11-23

Applicant: 中国计量大学 ,  中国计量科学研究院

Inventor： 朱承峰 ,  王振宇 ,  王雪深 ,  陈建 ,  徐骁龙 ,  李劲劲

IPC: C25F7/00 ,  G01N17/02 ,  G01N17/00 ,  C25F5/00

Abstract: 本申请涉及一种晶圆级电化学腐蚀系统，包括：腐蚀槽，腐蚀槽内部左右两侧设有竖槽，用于安装和固定阴极和阳极，竖槽内设置有用于固定晶圆的阳极架；腐蚀液，盛放于腐蚀槽内；阴极，包括绝缘材质的平板，平板上贴附有金属板；阳极，包括阳极架，阳极架为工字形结构，中部圆弧形长槽长度与待固定晶圆直径相同，长槽上下两端通过螺丝用防腐蚀材质压片固定晶圆；氮气鼓气系统，通过在腐蚀槽侧面或者底面位置开孔，接入氮气；上位机控制系统，用于控制电化学腐蚀实验进度以及参数的记录；源表，接入于阴极、阳极之间的回路中，用于控制输出恒、变电压，同时测试回路中电压和电流。本发明为晶圆的金属牺牲层释放提供了便捷的实验条件。

公开(公告)号：CN115088876A

公开(公告)日：2022-09-23

申请号：CN202210802363.1

申请日：2022-07-07

Applicant: 中国计量大学

Inventor： 祝冬杰 ,  姚燕 ,  蔡晋辉 ,  周佳裕 ,  孙蔡霞 ,  朱承峰

IPC: A24F40/46 ,  A24F40/40

Abstract: 本发明公开了一种具有温度校准接口的感应加热卷烟系统及其方法，包括：温度校准装置和感应加热烟具；所述感应加热烟具用于对抽吸卷烟提供热源；所述温度校准装置用于对感应加热烟具进行温度校准。本发明通过感应加热烟具对抽吸卷烟提供热源，再通过温度校准装置对感应加热烟具进行温度校准，从而具备了控温效果好的优点，解决了现有的电加热卷烟在烟具长期反复使用之后温度传感器性能衰减导致控温温度偏差大，影响烟气的释放，进而影响用户抽吸体验的问题，可根据自身需求对烟具的温度进行校准，使得烟具控温温度与预设温度值的差值较小，延长用户对于烟具的使用时间，减少了因为烟具抽吸体验变差而对烟具进行更新次数。