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公开(公告)号：CN115826366A
公开(公告)日：2023-03-21
申请号：CN202211707421.9
申请日：2022-12-28
Applicant: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
Abstract: 本发明提供一种用于光刻机工件台测量镜的粘接方法，通过标准反射镜和经纬仪的校准，完成第一粘接面的精准定位，并以第一粘接面为基准，通过多个经纬仪的光学装调，保证了其他粘接面的安装精度。本发明提出的粘接方法可以替代直接烧结基体并利用数控抛光系统进行加工的整体加工方法，在保证粘接强度的前提下，通过经纬仪进行光学装调，保证了测量镜相对于基座的安装精度，减小了测量镜与基座的形位公差，相比于整体加工方法本发明极大降低了工件台测量镜的生产成本。
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公开(公告)号：CN114227445A
公开(公告)日：2022-03-25
申请号：CN202111596295.X
申请日：2021-12-24
Applicant: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
IPC: B24B13/005
Abstract: 用于反射镜光学加工的液压球铰支撑单元属于光学加工技术领域，目的在于解决现有技术中存在的反射镜在加工过程中由磨头产生的循环载荷易导致支撑单元中柔性部件的疲劳损伤问题，支撑单元的密封性会影响支撑刚度的问题，以及现有的静压支撑装置结构一般都比较复杂，不利于拆装和重复利用，成本高和互换性不高等问题。本发明的用于反射镜光学加工的液压球铰支撑单元包括：具有转动自由度的支撑体；穿过法兰盘和所述支撑体下端固定端连接的液压调整单元，通过所述液压调整单元调整支撑体竖直方向位移；以及滚动膜片，所述滚动膜片设置在所述法兰盘中间以及支撑体和液压调整单元之间。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN119596540A
公开(公告)日：2025-03-11
申请号：CN202411674414.2
申请日：2024-11-21
Applicant: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
Abstract: 本发明涉及光学成像分析技术领域，尤其涉及一种拼接式望远镜微振动的光机集成分析方法，包括：建立光机模型，对光机模型进行长曝光时间下的微振动分析，以仿真获得与时间点对应的节点位移；采用第一转换模型将与时间点对应的节点位移转换为与时间点对应的刚体位移；根据拼接式望远镜的光学元件建立光学系统模型，采用光学系统模型对与时间点对应的刚体位移进行处理，以获得拼接式望远镜与时间点对应的点扩散函数；采用长曝光时间模型对与时间点对应的点扩散函数进行处理，以获得拼接式望远镜在长曝光时间下的点扩散函数。本发明至少有利于实现对拼接式望远镜进行数据传输效率高且准确率高的微振动光机集成分析。
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公开(公告)号：CN115826366B
公开(公告)日：2024-02-06
申请号：CN202211707421.9
申请日：2022-12-28
Applicant: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
Abstract: 本发明提供一种用于光刻机工件台测量镜的粘接方法，通过标准反射镜和经纬仪的校准，完成第一粘接面的精准定位，并以第一粘接面为基准，通过多个经纬仪的光学装调，保证了其他粘接面的安装精度。本发明提出的粘接方法可以替代直接烧结基体并利用数控抛光系统进行加工的整体加工方法，在保证粘接强度的前提下，通过经纬仪进行光学装调，保证了测量镜相对于基座的安装精度，减小了测量镜与基座的形位公差，相比于整体加工方法本发明极大降低了工件台测量镜的生产成本。
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公开(公告)号：CN117374870A
公开(公告)日：2024-01-09
申请号：CN202311549725.1
申请日：2023-11-20
Applicant: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
IPC: H02G11/00
Abstract: 本发明提出一种空间载荷二维转台线缆防缠绕结构，具体涉及于线缆连接技术领域,所述空间载荷二维转台线缆防缠绕结构包括伸缩筒、线缆和轴系组件，其中：所述伸缩筒内部设有弹性件，所述弹性件顶部一端与所述伸缩筒的内壁连接，所述弹性件底部一端设有有锁紧件；所述轴系组件一侧设有穿线孔，所述伸缩筒上设有中心孔，所述线缆在所述轴系组件内侧从所述穿线孔穿出，并沿轴系组件缠绕后，依次穿入所述伸缩筒的中心孔、弹性件、锁紧件并与所述锁紧件固定连接，本发明通过弹性件的进行压缩产生的弹性形变释放预紧力，实现线缆伸直状态下的直线往复运动，不会出现线缆与轴系组件缠绕的问题。
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公开(公告)号：CN115560705A
公开(公告)日：2023-01-03
申请号：CN202211206499.2
申请日：2022-09-30
Applicant: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
Abstract: 本发明涉及光学零件加工技术领域，具体提供了一种目视观测与CCD显示两用的检测干涉装置，包括检测台，检测台上置有激光器、聚光镜组、分光棱镜、准直物镜、楔镜、目镜分光镜、目镜和CCD相机；聚光镜组位于激光器上方，分光棱镜设于激光器侧部且位于聚光镜组的下方，准直物镜和楔镜位于分光棱镜和待检测光学镜之间，目镜分光镜及目镜的水平中心连线与分光棱镜的水平中心线共线，CCD相机位于目镜分光镜的上方。本发明还提供了一种目视观测与CCD显示两用的检测方法。本发明针对检测光学零件的应用场景，具有目视观测操作方便的优点，同时又可通过CCD相机快速准确的读取干涉图像的信息，不易受环境影响，适用性高。
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公开(公告)号：CN218297072U
公开(公告)日：2023-01-13
申请号：CN202222620256.5
申请日：2022-09-30
Applicant: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所(CN)
Abstract: 本实用新型涉及光学零件加工技术领域，具体提供了一种目视观测与CCD显示两用的检测干涉装置，包括检测台，检测台上置有激光器、聚光镜组、分光棱镜、准直物镜、楔镜、目镜分光镜、目镜和CCD相机；聚光镜组位于激光器上方，分光棱镜设于激光器侧部且位于聚光镜组的下方，准直物镜和楔镜位于分光棱镜和待检测光学镜之间，目镜分光镜及目镜的水平中心连线与分光棱镜的水平中心线共线，CCD相机位于目镜分光镜的上方。本实用新型针对检测光学零件的应用场景，具有目视观测操作方便的优点，同时又可通过CCD相机快速准确的读取干涉图像的信息，不易受环境影响，适用性高。
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