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公开(公告)号：CN110625629B
公开(公告)日：2023-05-02
申请号：CN201911036716.6
申请日：2019-10-29
申请人： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
摘要： 本发明提供一种大口径光学复杂曲面的立式加工检测集成方法，具体过程为：固定大口径光学元件使其竖直放置，并在光学元件前方搭建检测系统和加工系统；检测系统位于光学元件的正前方，主要由CGH光学补偿器和干涉仪构成；加工系统位于光学元件与检测系统之间，主要由移动导轨、机械臂底座、机械臂及磁流变加工设备组成；在光学检测过程中，坐落在移动导轨之上的机械臂先移动到检测光路之外；待检测完成后，机械臂沿导轨缓慢移动到指定的加工工位，然后开启磁流变设备，进入加工工序；不断重复检测、加工过程，直至光学元件的面形达到设定精度。该方法能够大幅度提高大口径光学复杂曲面的加工检测效率。
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公开(公告)号：CN108274396B
公开(公告)日：2020-06-12
申请号：CN201711431964.1
申请日：2017-12-26
申请人： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
IPC分类号： B24B57/02
摘要： 本发明涉及一种用于光学研抛浆料供给的低速液流控制方法。其使用的装置包括：储液罐，用于存放浆料；汲液管，所述汲液管伸入所述储液罐的内部，且所述汲液管连接有三通阀，所述三通阀还与空气过滤阀相连接；所述的三通阀交替指向汲液管和空气过滤阀；泵，所述泵的一端与所述三通阀连接，所述泵的另一端连接有管道，所述管道用于输送浆料，所述泵用于控制浆料的流速；喷嘴，所述喷嘴设置在所述管道的另一端。本发明提供的装置及方法节省成本，提高浆料的利用率，方便实现低速供给。
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公开(公告)号：CN111019529A
公开(公告)日：2020-04-17
申请号：CN201911393592.7
申请日：2019-12-30
申请人： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
IPC分类号： C09G1/02
摘要： 本发明属于光学及金属精密加工制造领域，尤其涉及一种磁射流抛光液及其制备方法。本发明提供的磁射流抛光液包括：软磁铁粉50～75wt％；非磁性抛光粉0.2～5wt％；增稠剂0.1～0.3wt％；分散剂0.5～1wt％；防锈剂0.3～0.5wt％；极压耐磨剂0.2～0.3wt％；pH调节剂0.2～0.3wt％；消泡剂0.01～0.05wt％；溶剂为水；增稠剂包括羧甲基纤维素钠、海藻酸钠和聚乙烯吡咯烷酮羧酸钠中的一种或多种；防锈剂包括无机磷酸盐、有机磷酸盐、羧酸酯和磷酸酯中的一种或多种；极压耐磨剂包括硼酸盐和/或硼酸酯。本发明提供的磁射流抛光液在高压及高速冲击使用条件下具有良好的防锈性和悬浮稳定性。
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公开(公告)号：CN106252191A
公开(公告)日：2016-12-21
申请号：CN201610623985.2
申请日：2016-08-02
申请人： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
IPC分类号： H01J37/32
CPC分类号： H01J37/321
摘要： 本发明公开了一种等离子体化学刻蚀设备中的可更换喷嘴ICP发生装置，属于光学曲面镜加工精密加工装置技术领域。该ICP发生装置包括喷嘴、等离子体炬管、套设于等离子体炬管外的感应线圈、高压特斯拉点火线圈、射频电源和匹配器，射频电源和匹配器为感应线圈供电，高压特斯拉点火线圈由外部电源进行供电；喷嘴与ICP发生装置中等离子体矩管的前端为可拆卸的固定连接，通过更换不同内径的喷嘴来实现对去除函数的尺寸进行调节。采用本发明的ICP发生装置对光学元件加工能获得理想尺寸的去除函数，实现全频段面形误差收敛。
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公开(公告)号：CN104386922A
公开(公告)日：2015-03-04
申请号：CN201410513658.2
申请日：2014-09-28
申请人： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
IPC分类号： C03C23/00
CPC分类号： C03C23/00
摘要： 大口径高陡度空间光学非球面反射镜立式加工方法及装置，涉及光学加工领域，解决了现有非球面反射镜的接触式加工存在的加工效率低、成本高、精度低的问题。首先向射频线圈通冷却水，向中间管通高纯氩气，向外管通高纯氩气；调节射频电源功率加载在射频线圈上；接通高压特斯拉点火线圈产生高压电火花并在石英炬管内部感生出电子并击穿高纯氩气，点燃等离子体形成高温等离子体炬；向中心管通工作气体和高纯氧气，工作气体被高温等离子体炬所激发形成活性基团；控制机械臂按轨迹移动带动等离子发生器在非球面反射镜表面移动，喷射的活性基团与非球面反射镜材料发生化学反应生成挥发性气态物质。本发明在常压条件下进行，成本低、体积小，去除率较高。
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公开(公告)号：CN102785170A
公开(公告)日：2012-11-21
申请号：CN201210277706.3
申请日：2012-08-07
申请人： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
IPC分类号： B24B55/00
摘要： 本发明用于CCOS加工过程中防止磨头发生翻转的装置涉及非球面反射镜的光学加工领域，该装置包括四个行程开关（1）、行程开关固定套件（2）和PMAC控制卡（3），四个行程开关（1）分别固定在行程开关固定套件（2）上，并通过第二导线（6）并联后连接到PMAC控制卡（3）的IO口上，行程开关固定套件（2）固定在CCOS的加工主轴（4）上，加工主轴（4）通过第一导线（5）与PMAC控制卡（3）相连。本发明有益效果是：在加工中心操作人员发生操作失误或是在加工中心位置初始化不到位时，能够对加工中心各加工主轴进行急停，以达到防止加工中心主轴及磨头对非球面反射镜镜坯造成损坏的目的。
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公开(公告)号：CN102773795A
公开(公告)日：2012-11-14
申请号：CN201210277715.2
申请日：2012-08-07
申请人： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
IPC分类号： B24B41/04
摘要： 本发明基于磁流变液的电磁激励自适应磨头涉及非球面反射镜的光学加工领域，该磨头包括电磁线圈（1）、铝制骨架（2）、磁流变液（3）、橡胶蒙皮（4）和聚氨酯抛光革（5），电磁线圈（1）内嵌到铝制骨架（2）的凹槽内，并通过点胶方式固定在铝制骨架（2）内，磁流变液（3）由橡胶蒙皮（4）密封，橡胶蒙皮（4）通过强力胶粘接到铝制骨架（2）的下端固定，聚氨酯抛光革（5）粘接到橡胶蒙皮（4）上。本发明的有益效果是：能够在不更换磨头的条件下，在一次光学加工周期中，同时消除非球面反射镜上不同位置的中高频误差，以达到非球面反射镜面形快速收敛的目的。
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公开(公告)号：CN102642157A
公开(公告)日：2012-08-22
申请号：CN201210140478.5
申请日：2012-05-08
申请人： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
IPC分类号： B24B1/04
摘要： 具有无线传输超声功率信号的加工装置，本发明属于数控加工技术领域，本发明的目的是为了使数控加工中心具有超声加工的能力，进而适用于加工脆硬材料，提供具有无线传输超声功率信号的加工装置，该装置包括：主轴、BT刀柄、超声换能器和砂轮，该结构还包括发射线圈固定套件、发射电磁线圈、接收电磁线圈和软磁体环形槽；所述超声换能器设置在BT刀柄内部，所述BT刀柄的内部尺寸与超声换能器的尺寸相配合；接收电磁线圈通过螺纹连接在BT刀柄上；所述发射电磁线圈和接收电磁线圈设置在软磁体环形槽中；所述发射电磁线圈通过发射线圈固定套件与主轴固定，本发明实现了高速数控加工，在数控加工技术领域具有广阔的应用空间。
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公开(公告)号：CN110497254A
公开(公告)日：2019-11-26
申请号：CN201910754505.X
申请日：2019-08-15
申请人： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
摘要： 本发明公开了一种用于中小口径复杂曲面的高速电磁式抛光装置，该装置包括由容器本体和上盖组成的密封容器，容器本体内安装载物台用来放置待抛光光学元件；上盖为与待抛光面共形且具有间隙的面形；密封容器上设有磁流变液循环口，连通磁流变液循环管路；密封容器中充满磁流变液；可控磁场产生装置用于在上盖处产生位置可变的电磁场，使得在电磁场产生位置处、上盖与待抛光面之间的磁流变液形成伯明翰体，作为柔性磨头；通过控制电磁场位置变化使得柔性磨头滑过待抛光面，从而抛光光学元件。本发明能够对中小口径复杂曲面进行有效、快速的抛光，从而有效压缩光改阶段的时间，提高光学加工效率。
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公开(公告)号：CN110491754A
公开(公告)日：2019-11-22
申请号：CN201910754594.8
申请日：2019-08-15
申请人： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
摘要： 本发明公开了一种基于电感耦合等离子体与离子束耦合的光学加工装置，电感耦合等离子体发生器和离子束发生器同时工作，电感耦合等离子体发生器出射的等离子体与离子束发生器出射的离子束均入射到待加工光学材料表面形成作用区，且两个作用区大小相同且重合。在等离子体和离子束的共同作用下，能够获得较高的光学材料去除率及优良的表面粗糙度及下表面破坏层。
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