公开(公告)号：CN108398098B

公开(公告)日：2024-08-16

申请号：CN201810447356.8

申请日：2018-05-11

Applicant: 中国科学院苏州生物医学工程技术研究所

Inventor： 史国华 ,  潘道伟 ,  邢利娜 ,  樊金宇 ,  汪权 ,  刘敬璇

IPC: G01B11/14

Abstract: 本发明属于光学测量技术领域，具体涉及一种光学表面间距非接触式测量装置和方法，本发明通过扫频光学相干层析(SSOCT)原理进行光学间隔非接触式测量，单次测量深度可达数十毫米，对于大部分的光学系统可以一次探测完成多个光学表面同时测量，配合参考臂移动进行分段式测量实现大量程，且测量精度完全取决于系统轴向分辨率；本发明还进一步优化了测量光路，在可调焦测量臂增加调焦模组，根据样品参数选择合适的聚焦光路，可以更好的收集各光学表面的反射光信号，提高干涉信号强度；在可位移参考臂中增加消色差透镜，可调焦测量臂的调焦模组和可位移参考臂的透镜组都是消色差透镜，有利于进一步提高测量精度。

公开(公告)号：CN108398098A

公开(公告)日：2018-08-14

申请号：CN201810447356.8

申请日：2018-05-11

Applicant: 中国科学院苏州生物医学工程技术研究所

Inventor： 史国华 ,  潘道伟 ,  邢利娜 ,  樊金宇 ,  汪权 ,  刘敬璇

IPC: G01B11/14

Abstract: 本发明属于光学测量技术领域，具体涉及一种光学表面间距非接触式测量装置和方法，本发明通过扫频光学相干层析(SSOCT)原理进行光学间隔非接触式测量，单次测量深度可达数十毫米，对于大部分的光学系统可以一次探测完成多个光学表面同时测量，配合参考臂移动进行分段式测量实现大量程，且测量精度完全取决于系统轴向分辨率；本发明还进一步优化了测量光路，在可调焦测量臂增加调焦模组，根据样品参数选择合适的聚焦光路，可以更好的收集各光学表面的反射光信号，提高干涉信号强度；在可位移参考臂中增加消色差透镜，可调焦测量臂的调焦模组和可位移参考臂的透镜组都是消色差透镜，有利于进一步提高测量精度。

公开(公告)号：CN208155267U

公开(公告)日：2018-11-27

申请号：CN201820699941.2

申请日：2018-05-11

Applicant: 中国科学院苏州生物医学工程技术研究所

Inventor： 史国华 ,  潘道伟 ,  邢利娜 ,  樊金宇 ,  汪权 ,  刘敬璇

IPC: G01B11/14

Abstract: 本实用新型属于光学测量技术领域，具体涉及一种光学表面间距非接触式测量装置，本实用新型通过扫频光学相干层析(SSOCT)原理进行光学间隔非接触式测量，单次测量深度可达数十毫米，对于大部分的光学系统可以一次探测完成多个光学表面同时测量，配合参考臂移动进行分段式测量实现大量程，且测量精度完全取决于系统轴向分辨率；本实用新型还进一步优化了测量光路，在可调焦测量臂增加调焦模组，根据样品参数选择合适的聚焦光路，可以更好的收集各光学表面的反射光信号，提高干涉信号强度；在可位移参考臂中增加消色差透镜，可调焦测量臂的调焦模组和可位移参考臂的透镜组都是消色差透镜，有利于进一步提高测量精度。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利