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公开(公告)号：CN100376319C
公开(公告)日：2008-03-26
申请号：CN200410048304.1
申请日：2004-06-17
Applicant: 中国科学院物理研究所
IPC: B01J8/24
Abstract: 本发明涉及一种在常温大气压下对材料进行处理的等离子体流化床，包括：用绝缘材料制作的床体，其床体下端口设置一气体分配器，和在气体分配器下面安装一漏斗形进气口，进气口通过带气体流量计的管道与气源相连；床体上部的侧壁上开有气体出口，在床体的气体出口的位置之上开孔，该孔安装一根带阀的管道，其管道连通一进料斗；在床体的气体出口以下至气体分配器一段外壁上设置一外电极，外电极与高压交流电源的一极电连接；内电极插入床体内，并通过一绝缘板密封固定在床体上端口，露出床体上端口的内电极与高压交流电源的另一极电连接。本发明的处理方法可在常温大气压下运行不需要真空设备，运行成本低。不会损害粉末材料，可适用的改性材料范围广。
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公开(公告)号：CN1756859A
公开(公告)日：2006-04-05
申请号：CN200380110083.X
申请日：2003-11-10
Applicant: 中国科学院物理研究所
IPC: C23C14/48 , H01J37/317
CPC classification number: C23C14/046 , C23C14/48 , H01J37/32009 , H01J37/32082 , H01J37/32541 , H05H1/46 , H05H2001/466
Abstract: 本发明涉及一种管状工件内表面改性的方法及其专用装置。该方法将该管状工件置于一个加工室中，并将一柱状电极和一可允许等离子体扩散的管状电极，由内至外同轴布置在该管状工件内，将该两电极与射频电源接通，从而在加工室中产生一团沿轴向均匀分布的稳态射频等离子体，所述管状电极由分布在圆筒状支撑件外表面的周向均匀分布或螺旋式分布的电极丝构成，在管状工件和管状电极之间施加负高压的同时，使管状电极与管状工件之间作相对转动，从而相对均匀地将离子加速注入到管状工件内表面。本发明方法及其专用装置消除了被改性的管状工件内表面的栅网阴影，使得改性的内表面更加均匀另外，尤其适用于细长管状工件的改性。
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公开(公告)号：CN1769526B
公开(公告)日：2010-08-25
申请号：CN200510125672.6
申请日：2005-12-02
Applicant: 中国科学院物理研究所
Abstract: 本发明公开钢铁管件内壁陶瓷化处理方法，先取内壁表面带有金属铝层的钢铁管件，将电极棒固定于钢铁管件的内腔，电极棒连接脉冲直流电源的负极，钢铁管件外表面连接电源的正极，保持钢铁管件的腔体内壁浸在碱性处理液中，调节电源的电压值，使其保持恒定电流密度适当时间。本发明还公开实现上述方法的装置，包括钢铁管件、脉冲直流电源、电极棒和处理液循环装置，钢铁管件连接电源的正极，电极棒的一端与电源的负极相连，另一端在钢铁管件的内腔内部，处理液循环装置保持处理液温度和浓度一致。本方法可在钢铁管件内壁生成均匀的耐高温、耐磨损、耐腐蚀、使用寿命长的陶瓷层，且装置结构简单、成本低廉、安装和拆卸方便。
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公开(公告)号：CN1769526A
公开(公告)日：2006-05-10
申请号：CN200510125672.6
申请日：2005-12-02
Applicant: 中国科学院物理研究所
Abstract: 本发明公开钢铁管件内壁陶瓷化处理方法，先取内壁表面带有金属铝层的钢铁管件，将电极棒固定于钢铁管件的内腔，电极棒连接脉冲直流电源的负极，钢铁管件外表面连接电源的正极，保持钢铁管件的腔体内壁浸在碱性处理液中，调节电源的电压值，使其保持恒定电流密度适当时间。本发明还公开实现上述方法的装置，包括钢铁管件、脉冲直流电源、电极棒和处理液循环装置，钢铁管件连接电源的正极，电极棒的一端与电源的负极相连，另一端在钢铁管件的内腔内部，处理液循环装置保持处理液温度和浓度一致。本方法可在钢铁管件内壁生成均匀的耐高温、耐磨损、耐腐蚀、使用寿命长的陶瓷层，且装置结构简单、成本低廉，安装和拆卸方便。
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公开(公告)号：CN1137284C
公开(公告)日：2004-02-04
申请号：CN01115523.X
申请日：2001-04-27
Applicant: 中国科学院物理研究所
IPC: C23C14/48
Abstract: 本发明属于等离子体材料表面改性领域。本发明提出一种栅极增强内表面改性的方法，该方法由阴极、栅网电极及样品组成三电极系统，通过施加射频功率及脉冲负高压，来实现剂量的均匀性及均匀的离子注入；通过阴极溅射，将阴极材料的粒子引入射频等离子体中来实现内表面镀膜及内表面金属离子注入，使改性手段更丰富。本发明引进栅极提高了等离子体的稳定性及加速电压。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN100482031C
公开(公告)日：2009-04-22
申请号：CN200610065769.7
申请日：2006-03-14
Applicant: 中国科学院物理研究所
IPC: H05H1/24
Abstract: 本发明涉及一种大气压介质阻挡辉光放电等离子体发生装置及方法，该装置包括导电液电极、惰性气体源，所述导电液电极设置于双层介质材料管的外层中，所述双层介质材料管的里层连接有惰性气体源，并且所述双层介质材料管的里层设有在电压作用下可与导电液电极之间放电的电极棒，该电极棒与高压电源、导电液电极构成回路。本发明是采用导电溶液为外电极的新型大气压介质阻挡放电装置，避免了因反射等离子体导致两电极短路而产生的拉弧现象，同时水溶液还能对系统进行冷却，减少能耗；而且液体电极避免了受热金属电极因与介质的膨胀系数不同而导致介质破裂的发生，从而延长了使用寿命，为实现商业化运作创造了条件。
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公开(公告)号：CN100465355C
公开(公告)日：2009-03-04
申请号：CN200510070871.1
申请日：2005-05-20
Applicant: 中国科学院物理研究所
Abstract: 本发明公开了一种管件表面陶瓷化处理工艺，该管件为非阀金属材料管件或非金属管件，该工艺包括以下步骤：(一)采用复合成膜方法在管件内外表面制备厚度为50-150μm的阀金属层；(二)将电极棒固定于该内外表面制备有阀金属层的管件内腔，将该电极棒连接脉冲直流电源的负极，该管件连接该电源的正极，并将该管件浸入处理槽中的碱性处理液中，保持恒定电流密度值，处理适当时间。该工艺对不能直接采用微等离子体氧化技术的金属材料或者非金属材料管件，可先采用复合成膜技术在管件表面得到阀金属层，再采用微等离子体氧化技术制备陶瓷层，成功解决了非阀金属材料及非金属材料管件表面的陶瓷化难题，并且解决了管件内表面的陶瓷化处理问题。
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公开(公告)号：CN1819737A
公开(公告)日：2006-08-16
申请号：CN200610065769.7
申请日：2006-03-14
Applicant: 中国科学院物理研究所
IPC: H05H1/24
Abstract: 本发明涉及一种大气压介质阻挡辉光放电等离子体发生装置及方法，该装置包括导电液电极、惰性气体源，所述导电液电极设置于双层介质材料管的外层中，所述双层介质材料管的里层连接有惰性气体源，并且所述双层介质材料管的里层设有在电压作用下可与导电液电极之间放电的电极棒，该电极棒与高压电源、导电液电极构成回路。本发明是采用导电溶液为外电极的新型大气压介质阻挡放电装置，避免了因反射等离子体导致两电极短路而产生的拉弧现象，同时水溶液还能对系统进行冷却，减少能耗；而且液体电极避免了受热金属电极因与介质的膨胀系数不同而导致介质破裂的发生，从而延长了使用寿命，为实现商业化运作创造了条件。
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公开(公告)号：CN1635177A
公开(公告)日：2005-07-06
申请号：CN200310113092.6
申请日：2003-12-26
Applicant: 中国科学院物理研究所
IPC: C23C14/48
Abstract: 本发明涉及一种等离子体源离子注入内表面改性的装置，将管状工件置于一个加工室中，并将一柱状电极和一可允许等离子体扩散的管状电极由内至外同轴布置在该管状工件内，该两电极与射频电源接通，在管状电极和管状工件间连接一负高压电源，还包括一个使管状工件和管状电极产生相对转动的驱动装置；所述管状电极由分布在圆筒状支撑件外表面上的电极丝构成，该电极丝呈周向均匀分布，或呈螺旋式分布；所述柱状电极为中空管，管中放置磁铁；所述的管状电极为连通的中空的金属管。所述磁铁呈环状，磁铁与磁铁之间同极相对地沿轴向均匀布置。本发明通过在柱状电极中放置磁铁加强等离子体对中心电极材料的溅射，提高管状工件内表面加工的效率。
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公开(公告)号：CN1526852A
公开(公告)日：2004-09-08
申请号：CN03105058.1
申请日：2003-03-04
Applicant: 中国科学院物理研究所
IPC: C23C14/48
CPC classification number: C23C14/046 , C23C14/48 , H01J37/32009 , H01J37/32082 , H01J37/32541 , H05H1/46 , H05H2001/466
Abstract: 本发明涉及一种管状工件内表面改性的方法及其专用装置。该方法将管状工件置于加工室中，并将一柱状电极和一由周向均匀分布的电极丝制成的管状电极，由内至外同轴布置在管状工件内，将该两电极与射频电源接通，从而在加工室中产生一团沿轴向均匀分布的稳态射频等离子体，在管状工件和管状电极之间施加负高压的同时，使管状电极与管状工件之间作相对转动，从而比较均匀地将离子加速注入到管状工件内表面。本发明方法及其专用装置通过由周向均匀分布的电极丝制成的管状电极，以及使管状电极和管状工件之间的相对转动，消除了被改性的管状工件内表面的栅网阴影，使得改性的内表面更加均匀。另外，尤其适用于细长管状工件的改性。
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