公开(公告)号：CN106835133A

公开(公告)日：2017-06-13

申请号：CN201611194326.8

申请日：2016-12-21

申请人： 中国科学院深圳先进技术研究院

发明人： 唐永炳 ,  王陶 ,  张松全 ,  蒋春磊 ,  陈光海

IPC分类号： C23C28/04 ,  C23C14/06 ,  C23C16/27

CPC分类号： C23C14/067 ,  C23C16/271 ,  C23C28/044

摘要： 本发明提供了一种具有二硼化钛‑金刚石复合涂层的工件，包括工件基体，以及依次设置于所述工件基体表面的二硼化钛涂层和金刚石涂层。本发明通过在金刚石涂层与工件基体之间设置二硼化钛涂层，提高了金刚石涂层与工件基体之间的结合力，解决了金刚石涂层与基体结合力不足，金刚石薄膜形核密度低和沉积速度慢的问题。本发明还提供一种具有二硼化钛‑金刚石复合涂层的工件的制备方法。