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公开(公告)号：CN106835064B
公开(公告)日：2019-06-25
申请号：CN201611173709.7
申请日：2016-12-16
申请人： 中国科学院深圳先进技术研究院
摘要： 本发明提供了一种具有金刚石/碳化硅复合涂层的工具，包括工具基体，以及设置在所述基体上的多层涂层结构，所述多层涂层结构包括碳化硅/金刚石复合涂层，以及金刚石涂层，自基体表面向上，所述碳化硅/金刚石复合涂层和金刚石涂层依次交替排布形成多层结构，且所述多层涂层结构的顶层为金刚石涂层。本发明提供的多层涂层结构中的每一层中均含有金刚石相的连续生长，增强了各层之间的界面结合强度，能够有效降低涂层的内应力，增强薄膜与基体的粘附性，尤其是有利于抵抗工具在切削加工中产生的高强切应力，还可增强在整个涂层厚度方向的整体断裂韧性。本发明还提供了该具有金刚石涂层的工具的制备方法。
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公开(公告)号：CN106191807A
公开(公告)日：2016-12-07
申请号：CN201610626731.6
申请日：2016-08-03
申请人： 中国科学院深圳先进技术研究院
CPC分类号： C23C16/325 , C23C16/271 , C23C16/44 , C23C28/044 , C23C28/048
摘要： 本发明提供了一种具有金刚石涂层的硬质合金件，包括硬质合金基体，以及依次设置于所述基体上的碳化硅层、碳化硅-金刚石梯度复合涂层和金刚石涂层，所述碳化硅-金刚石梯度复合涂层中，沿厚度方向由所述碳化硅层向所述金刚石涂层，碳化硅含量逐渐减少而金刚石含量逐渐增加。本发明通过在硬质合金基体上先沉积碳化硅层和碳化硅-金刚石梯度复合涂层作为中间层，再沉积金刚石涂层，使得基体表面的整个涂层从基体到顶层不仅成分呈梯度变化，无新界面的增加，而且热膨胀系数呈梯度变化，从而有效降低金刚石薄膜中的热应力，提高薄膜结合力。本发明还提供了该具有金刚石涂层的硬质合金件的制备方法。
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公开(公告)号：CN106835064A
公开(公告)日：2017-06-13
申请号：CN201611173709.7
申请日：2016-12-16
申请人： 中国科学院深圳先进技术研究院
CPC分类号： C23C16/0272 , C23C16/0227 , C23C16/0254 , C23C16/271 , C23C16/30
摘要： 本发明提供了一种具有金刚石/碳化硅复合涂层的工具，包括工具基体，以及设置在所述基体上的多层涂层结构，所述多层涂层结构包括碳化硅/金刚石复合涂层，以及金刚石涂层，自基体表面向上，所述碳化硅/金刚石复合涂层和金刚石涂层依次交替排布形成多层结构，且所述多层涂层结构的顶层为金刚石涂层。本发明提供的多层涂层结构中的每一层中均含有金刚石相的连续生长，增强了各层之间的界面结合强度，能够有效降低涂层的内应力，增强薄膜与基体的粘附性，尤其是有利于抵抗工具在切削加工中产生的高强切应力，还可增强在整个涂层厚度方向的整体断裂韧性。本发明还提供了该具有金刚石涂层的工具的制备方法。
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公开(公告)号：CN106191807B
公开(公告)日：2018-12-21
申请号：CN201610626731.6
申请日：2016-08-03
申请人： 中国科学院深圳先进技术研究院
摘要： 本发明提供了一种具有金刚石涂层的硬质合金件，包括硬质合金基体，以及依次设置于所述基体上的碳化硅层、碳化硅‑金刚石梯度复合涂层和金刚石涂层，所述碳化硅‑金刚石梯度复合涂层中，沿厚度方向由所述碳化硅层向所述金刚石涂层，碳化硅含量逐渐减少而金刚石含量逐渐增加。本发明通过在硬质合金基体上先沉积碳化硅层和碳化硅‑金刚石梯度复合涂层作为中间层，再沉积金刚石涂层，使得基体表面的整个涂层从基体到顶层不仅成分呈梯度变化，无新界面的增加，而且热膨胀系数呈梯度变化，从而有效降低金刚石薄膜中的热应力，提高薄膜结合力。本发明还提供了该具有金刚石涂层的硬质合金件的制备方法。
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公开(公告)号：CN104553124B
公开(公告)日：2017-05-03
申请号：CN201410720492.1
申请日：2014-12-02
申请人： 中国科学院深圳先进技术研究院
摘要： 本发明提供了一种金刚石纳米针阵列复合材料及其制备方法和应用。本发明金刚石纳米针阵列复合材料包括衬底层和在所述衬底层表面形成的金刚石纳米针阵列，且在所述金刚石纳米针阵列中的金刚石纳米针表面生长有三维石墨烯层。本发明金刚石纳米针阵列复合材料制备方法包括在基体表面上沉积金刚石膜层、将所述金刚石膜层进行刻蚀成的金刚石纳米针阵列、在金刚石纳米针阵列表面生长三维石墨烯层。本发明金刚石纳米针阵列复合材料导热性能优异，性能场发射性能和稳定性能高。其制备工艺简单，条件可控性好，且其能够在气体传感器、生物传感器和电化学领域中应用。
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公开(公告)号：CN104553124A
公开(公告)日：2015-04-29
申请号：CN201410720492.1
申请日：2014-12-02
申请人： 中国科学院深圳先进技术研究院
CPC分类号： B32B9/007 , B32B9/04 , B32B2255/20 , C23C16/0245 , C23C16/26
摘要： 本发明提供了一种金刚石纳米针阵列复合材料及其制备方法和应用。本发明金刚石纳米针阵列复合材料包括衬底层和在所述衬底层表面形成的金刚石纳米针阵列，且在所述金刚石纳米针阵列中的金刚石纳米针表面生长有三维石墨烯层。本发明金刚石纳米针阵列复合材料制备方法包括在基体表面上沉积金刚石膜层、将所述金刚石膜层进行刻蚀成的金刚石纳米针阵列、在金刚石纳米针阵列表面生长三维石墨烯层。本发明金刚石纳米针阵列复合材料导热性能优异，性能场发射性能和稳定性能高。其制备工艺简单，条件可控性好，且其能够在气体传感器、生物传感器和电化学领域中应用。
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