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公开(公告)号：CN101969276A
公开(公告)日：2011-02-09
申请号：CN200910012774.5
申请日：2009-07-28
Applicant: 中国科学院沈阳自动化研究所
IPC: H02N2/02
Abstract: 一种二维非耦合纳米级运动平台机构，属于纳米级位移输出及定位技术领域。包括动平台及内外框架，之间通过柔性导向连接筋板交错连接构成一体化结构，即：内框架的一对称边框与动平台间连接有柔性导向连接筋板，另一对称边框与外边框间连接有柔性导向连接筋板；在动平台与内边框及内外边框间的另一对边框上分别对称设有压电陶瓷驱动器和预紧驱动弹簧，压电陶瓷驱动器与外控制器连接。本发明采用分离框架与柔性筋板连接结构，使XY轴向运动独立，实现平台运动的平稳精确导向，整体结构简单紧凑。压电陶瓷驱动器与预紧驱动弹簧组合的驱动方式，可达到纳米/亚纳米驱动位移分辨率，降低平台的驱动控制设计难度，提高了平台整体的可装配性和可控性。
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公开(公告)号：CN105092900A
公开(公告)日：2015-11-25
申请号：CN201410214080.0
申请日：2014-05-20
Applicant: 中国科学院沈阳自动化研究所
IPC: G01Q60/38
Abstract: 本发明涉及一种用于原子力显微镜的扫描探针夹持装置，包括固定夹具、探针夹连接器、探针夹；所述探针夹连接器固定于固定夹具上，并与探针夹连接。本发明探针夹体积小、质量轻，能够固定到压电陶瓷驱动器上，可以应用于倒置式原子力显微镜扫描头的结构设计中；能够实现探针夹的快速装卸、探针的快速安装和固定，以及为探针提供纳米级位移的振动。
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公开(公告)号：CN103149415A
公开(公告)日：2013-06-12
申请号：CN201110401975.1
申请日：2011-12-07
Applicant: 中国科学院沈阳自动化研究所
Abstract: 本发明涉及高频正弦波有效值的数字化实时检测技术，具体地说是一种基于FPGA高速数据处理技术的高精度高频正弦波有效值实时检测方法。取正弦波一个周期的采样点数m中任意一个采样点为第n点，从第n点到第n+m-1点，计算一个周期内采样幅值为xi的正弦波有效值；依次求Sn+1，Sn+2，...，Sn+m-1；取m个有效值数据Si(i＝1，2...m)的均值S作为该正弦波的有效值。本发明的计算误差小，计算速度快，适用范围宽，通过修改参数，可以实现频率从几十KHz到几百KHz正弦波的有效值检测。
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公开(公告)号：CN102486478B
公开(公告)日：2013-04-17
申请号：CN201010573960.9
申请日：2010-12-04
Applicant: 中国科学院沈阳自动化研究所
IPC: G01Q60/24
Abstract: 本发明涉及一种高度色差分辨率动态可调的原子力扫描显微镜成像方法，包括以下步骤：建立原子力扫描显微镜扫描数据与位图图像数据之间的关系模型；在关系模型中引入样品表面预测高度H；根据所建立的关系模型和预测高度H，动态的将原子力扫描显微镜扫描数据转换成不同色差分辨率的色差位图，实现具有动态色差分辨率的样品形貌可视图形化显示。本方法所建的关系模型简单，计算量小，效率高，容易实现，可以在线进行图像高度色差分辨率动态调整。
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公开(公告)号：CN102069240B
公开(公告)日：2012-11-14
申请号：CN200910220035.5
申请日：2009-11-20
Applicant: 中国科学院沈阳自动化研究所
Abstract: 本发明公开了一种基于火花放电加工的压电陶瓷管银层电极无损分割方法，具体地说是一种实现压电陶瓷管银层的快速有效去除而不损伤压电陶瓷管，实现压电陶瓷管的银层电极无损分割的方法。该方法使用压电陶瓷管表面的银层为负极，自制的切割探针为正极，配合固定装置与导向移动装置，利用极间火花放电融化银层完成压电陶瓷管银层电极分割。采用该方法进行压电陶瓷管银层的分割，具有安全效率高，不损伤压电陶瓷管陶瓷层，被分割电极间绝缘性能好，分割均匀的优点。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102072970A
公开(公告)日：2011-05-25
申请号：CN200910220156.X
申请日：2009-11-25
Applicant: 中国科学院沈阳自动化研究所
Abstract: 本发明涉及基于AFM原子力扫描显微镜技术，公开了一种面向纳米观测及纳米操作无损自动逼近方法及装置，本发明通过控制步进电机带动样品台上升，利用激光接收器检测信号来判断样品是否运动到预定位置，完成逼近初调；然后控制压电陶瓷驱动器向上逼近，通过检测光电传感器来判断样品是否接触探针，来完成最终逼近。本发明可以有效解决在样品逼近过程中样品厚度对逼近过程中的影响，减少逼近过程中对探针及样品表面的破坏损伤。
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公开(公告)号：CN101206170A
公开(公告)日：2008-06-25
申请号：CN200610134977.8
申请日：2006-12-22
Applicant: 中国科学院沈阳自动化研究所
Abstract: 本发明公开一种面向纳米观测与操作的样品无损逼近方法。它通过控制样品相对于探针进行微米级的初调运动及纳米级的精密运动，经检测反射激光光斑的位置变化信号的反馈控制步骤，通过检测样品逼近探针产生原子力作用时产生的光电检测信息进行反馈控制，达到控制样品无损逼近探针的目的。采用本发明可以避免碰撞逼近所造成的探针或样品损伤。
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公开(公告)号：CN105092900B
公开(公告)日：2018-01-02
申请号：CN201410214080.0
申请日：2014-05-20
Applicant: 中国科学院沈阳自动化研究所
IPC: G01Q60/38
Abstract: 本发明涉及一种用于原子力显微镜的扫描探针夹持装置，包括固定夹具、探针夹连接器、探针夹；所述探针夹连接器固定于固定夹具上，并与探针夹连接。本发明探针夹体积小、质量轻，能够固定到压电陶瓷驱动器上，可以应用于倒置式原子力显微镜扫描头的结构设计中；能够实现探针夹的快速装卸、探针的快速安装和固定，以及为探针提供纳米级位移的振动。
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公开(公告)号：CN102069239B
公开(公告)日：2012-10-03
申请号：CN200910220029.X
申请日：2009-11-20
Applicant: 中国科学院沈阳自动化研究所
Abstract: 本发明涉及采用电加工的方法对压电陶瓷管进行电极分度技术，公开了一种压电陶瓷管银层电极无损分割装置，实现压电陶瓷管的银层电极无损分割的装置，装置包括：压电陶瓷管夹持器，夹持器两侧夹持端成锥形，一端可拆卸，另一端均匀分布4个柱塞，用来固定压电陶瓷管；压电陶瓷管切割器，主要由滑块、弹片、探针组成，探针固定在弹片上，弹片通过垫片固定在滑块上，使探针与滑块绝缘，用来切割压电陶瓷管表面银层电极；底座，主要用来固定压电陶瓷管夹持器和压电陶瓷管切割器。采用本发明可以将压电陶瓷管表面电极均匀分成4个象限。
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公开(公告)号：CN102678428A
公开(公告)日：2012-09-19
申请号：CN201110059576.1
申请日：2011-03-11
Applicant: 中国科学院沈阳自动化研究所
CPC classification number: Y02E10/38
Abstract: 本发明涉及一种可移动波浪能吸收和转换装置，具有多自由度惯性摆机构、转向机构、传递增速机构以及能量转换装置和存储装置，其中多自由度惯性摆机构的每个输出端通过转向机构与传递增速机构相连，多自由度惯性摆机构的旋转运动通过转向和传递，在传递增速机构的输出端为连续单方向的旋转输出；传递增速机构的输出端接有能量转换和存储装置。本发明能够在三维空间上运动，使用超越离合器使往复旋转运动转化成单向旋转机械运动，避免克服能量吸收装置的启动力矩而会损失激励能量简化结构的设计，节约成本，减轻整个装置的重量。Delta并联结构的成型设计很多也很成熟，结构上易于实现。
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