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公开(公告)号:CN116275015A
公开(公告)日:2023-06-23
申请号:CN202310422007.1
申请日:2023-04-19
Applicant: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
Abstract: 本发明提供一种Ag/Au纳米颗粒的制备方法与MIM结构。金、银分别作为第一、二靶材,采用离子溅射技术,在具有化学惰性的绝缘材料构成的基体表面首先溅射第一靶材然后溅射二靶材,或者,首先溅射第二靶材然后溅射第一靶材,金纳米颗粒与银纳米颗粒均匀分散在基体表面;然后对基体进行电子束辐照,控制电子束的束流密度在量级,辐照时间为1~30分钟,得到银纳米颗粒合并、融合或者包覆金纳米颗粒的Ag/Au纳米颗粒。该方法简单易行,利用该方法得到Ag/Au纳米颗粒‑基体‑Ag/Au纳米颗粒的MIM结构。