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公开(公告)号：CN117856566B
公开(公告)日：2024-06-14
申请号：CN202410266549.9
申请日：2024-03-08
Applicant: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
IPC: H02K41/02
Abstract: 本发明提供了一种晶圆检测设备用无铁芯直线电机，包括：电机定子，电机定子包括两个外侧铁轭和一中间铁轭，两个外侧铁轭和中间铁轭之间分别通过第一固定件固定连接，两个外侧铁轭和中间铁轭之间分别留有气隙，两个外侧铁轭的内表面以及中间铁轭的两侧表面上分别设有多个永磁体，且位于同一表面上的各永磁体均沿中间铁轭的长度方向间隔排布；电机动子，电机动子包括一动子连接件和两块PCB板，两块PCB板的顶端与动子连接件的底端固定连接，以使两块PCB板分别插入至两处气隙内时动子连接件的底端与两个外侧铁轭的顶端相抵接，两块PCB板均采用变截面式绕组。有益效果是本发明的直线电机结构简单紧凑、整体重量轻、推力密度大且推力波动小。
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公开(公告)号：CN117856566A
公开(公告)日：2024-04-09
申请号：CN202410266549.9
申请日：2024-03-08
Applicant: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
IPC: H02K41/02
Abstract: 本发明提供了一种晶圆检测设备用无铁芯直线电机，包括：电机定子，电机定子包括两个外侧铁轭和一中间铁轭，两个外侧铁轭和中间铁轭之间分别通过第一固定件固定连接，两个外侧铁轭和中间铁轭之间分别留有气隙，两个外侧铁轭的内表面以及中间铁轭的两侧表面上分别设有多个永磁体，且位于同一表面上的各永磁体均沿中间铁轭的长度方向间隔排布；电机动子，电机动子包括一动子连接件和两块PCB板，两块PCB板的顶端与动子连接件的底端固定连接，以使两块PCB板分别插入至两处气隙内时动子连接件的底端与两个外侧铁轭的顶端相抵接，两块PCB板均采用变截面式绕组。有益效果是本发明的直线电机结构简单紧凑、整体重量轻、推力密度大且推力波动小。
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公开(公告)号：CN119010413A
公开(公告)日：2024-11-22
申请号：CN202411479262.0
申请日：2024-10-23
Applicant: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
Abstract: 本发明提供了一种无铁芯直线电机波形绕组结构，包括电机定子，电机定子包括两个铁轭和固定件，两个铁轭之间通过固定件固定连接，两个铁轭之间留有气隙，两个铁轭的内表面上分别设有多个永磁体，且位于同一内表面上的各永磁体均沿铁轭的长度方向间隔排布形成永磁体阵列；电机动子，电机动子包括两个固定板、连接件和通过环氧树脂浇灌制成的一波形绕组，两个固定板之间通过连接件固定连接，波形绕组设于连接件的底端，波形绕组插入气隙时两个固定板的底端分别与两个铁轭的顶端抵接，且波形绕组插入至气隙内时可滑动。有益效果是本发明能够提升电机平稳性，提高散热性能。
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