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公开(公告)号:CN103895283B
公开(公告)日:2016-08-10
申请号:CN201210575085.7
申请日:2012-12-26
Applicant: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
Abstract: 本发明公开了一种纳米多层结构的VC/Ni增韧涂层,由VC层和Ni层交替沉积而成,相邻的一层VC层和一层Ni层构成一个双层周期层,每个双层周期层的厚度为1~88nm,每个双层周期层中VC层与Ni层的厚度比为1.0~3.0:1,总厚度为1~5μm。本发明还公开了一种纳米多层结构VC/Ni增韧涂层的制备方法,其方法为:将VC靶和Ni靶分别安装在中频阴极上,靶面垂直于旋转工作台,采用磁控溅射方法,对基体进行沉积。本发明纳米多层结构的VC/Ni增韧涂层在保证涂层硬度的同时提高了涂层的韧性,可以满足防护涂层及耐磨涂层硬度和韧性的要求,降低了涂层的磨损率,其制备方法可操作性强、可控性好、易于工业化生产。
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公开(公告)号:CN103898446B
公开(公告)日:2016-06-08
申请号:CN201210576514.2
申请日:2012-12-26
Applicant: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
Abstract: 本发明公开了一种陶瓷/金属纳米复合VC-Ni增韧涂层,以重量百分比计,组成元素为:39.6~69.8%的V、15.1~23.0%的C和7.2~45.3%的Ni,属于陶瓷涂层领域。本发明还公开了一种陶瓷/金属纳米复合VC-Ni增韧涂层的制备方法,其方法为:将VC靶安装在中频阴极上,Ni靶安装在直流阴极上,采用磁控溅射方法,对基体溅射沉积陶瓷/金属纳米复合VC-Ni韧性涂层,利用此种方法制备的陶瓷/金属纳米复合VC-Ni韧性涂层在保证涂层硬度的同时提高了涂层的韧性,硬度达到15GPa以上,降低了涂层的磨损率,其制备方法可操作性强、可控性好、易于工业化生产。
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公开(公告)号:CN103898446A
公开(公告)日:2014-07-02
申请号:CN201210576514.2
申请日:2012-12-26
Applicant: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
Abstract: 本发明公开了一种陶瓷/金属纳米复合VC-Ni增韧涂层,以重量百分比计,组成元素为:39.6~69.8%的V、15.1~23.0%的C和7.2~45.3%的Ni,属于陶瓷涂层领域。本发明还公开了一种陶瓷/金属纳米复合VC-Ni增韧涂层的制备方法,其方法为:将VC靶安装在中频阴极上,Ni靶安装在直流阴极上,采用磁控溅射方法,对基体溅射沉积陶瓷/金属纳米复合VC-Ni韧性涂层,利用此种方法制备的陶瓷/金属纳米复合VC-Ni韧性涂层在保证涂层硬度的同时提高了涂层的韧性,硬度达到15GPa以上,降低了涂层的磨损率,其制备方法可操作性强、可控性好、易于工业化生产。
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公开(公告)号:CN102864413B
公开(公告)日:2014-07-30
申请号:CN201210363892.2
申请日:2012-09-26
Applicant: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
Abstract: 本发明公开了一种纳米复合结构的V-C-Co韧性涂层,以重量百分比计,组成元素为:33.9~70.0%的V、15.1~23.0%的C和7.0~45.0%的Co,属于陶瓷涂层领域。本发明还公布了一种纳米复合结构V-C-Co韧性涂层的制备方法,其方法为:将VC靶安装在中频阴极上,Co靶安装在直流阴极上,采用磁控溅射方法,对基体溅射沉积纳米复合结构的V-C-Co韧性涂层,利用此种方法制备的纳米复合结构的V-C-Co韧性涂层兼具有高硬度、高韧性的特点,其塑性指数为0.45以上,硬度达到15GPa以上,可以满足防护涂层及耐磨涂层高硬度和高韧性的要求,其制备方法可操作性强、可控性好、易于工业化生产。
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公开(公告)号:CN102864413A
公开(公告)日:2013-01-09
申请号:CN201210363892.2
申请日:2012-09-26
Applicant: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
Abstract: 本发明公开了一种纳米复合结构的V-C-Co韧性涂层,以重量百分比计,组成元素为:33.9~70.0%的V、15.1~23.0%的C和7.0~45.0%的Co,属于陶瓷涂层领域。本发明还公布了一种纳米复合结构V-C-Co韧性涂层的制备方法,其方法为:将VC靶安装在中频阴极上,Co靶安装在直流阴极上,采用磁控溅射方法,对基体溅射沉积纳米复合结构的V-C-Co韧性涂层,利用此种方法制备的纳米复合结构的V-C-Co韧性涂层兼具有高硬度、高韧性的特点,其塑性指数为0.45以上,硬度达到15GPa以上,可以满足防护涂层及耐磨涂层高硬度和高韧性的要求,其制备方法可操作性强、可控性好、易于工业化生产。
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公开(公告)号:CN103042753B
公开(公告)日:2015-06-24
申请号:CN201210575224.6
申请日:2012-12-26
Applicant: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
Abstract: 本发明公开了一种纳米多层结构的VC/Co增韧涂层,由VC层和Co层交替沉积而成,相邻的一层VC层和一层Co层构成一个双层周期层,每个双层周期层的厚度为1~88nm,每个双层周期层中VC层与Co层的厚度比为1.0~3.0:1,总厚度为1~5μm。本发明还公开了一种纳米多层结构VC/Co增韧涂层的制备方法,其方法为:将VC靶和Co靶分别安装在中频阴极上,靶面垂直于旋转工作台,采用磁控溅射方法对基体进行沉积。本发明纳米多层结构的VC/Co增韧涂层在保持涂层具有较高的硬度的同时提高了涂层的韧性,可以满足防护涂层及耐磨涂层硬度和韧性的要求,其制备方法可操作性强、可控性好、易于工业化生产。
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公开(公告)号:CN103895283A
公开(公告)日:2014-07-02
申请号:CN201210575085.7
申请日:2012-12-26
Applicant: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
Abstract: 本发明公开了一种纳米多层结构的VC/Ni增韧涂层,由VC层和Ni层交替沉积而成,相邻的一层VC层和一层Ni层构成一个双层周期层,每个双层周期层的厚度为1~88nm,每个双层周期层中VC层与Ni层的厚度比为1.0~3.0:1,总厚度为1~5μm。本发明还公开了一种纳米多层结构VC/Ni增韧涂层的制备方法,其方法为:将VC靶和Ni靶分别安装在中频阴极上,靶面垂直于旋转工作台,采用磁控溅射方法,对基体进行沉积。本发明纳米多层结构的VC/Ni增韧涂层在保证涂层硬度的同时提高了涂层的韧性,可以满足防护涂层及耐磨涂层硬度和韧性的要求,降低了涂层的磨损率,其制备方法可操作性强、可控性好、易于工业化生产。
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公开(公告)号:CN103042753A
公开(公告)日:2013-04-17
申请号:CN201210575224.6
申请日:2012-12-26
Applicant: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
Abstract: 本发明公开了一种纳米多层结构的VC/Co增韧涂层,由VC层和Co层交替沉积而成,相邻的一层VC层和一层Co层构成一个双层周期层,每个双层周期层的厚度为1~88nm,每个双层周期层中VC层与Co层的厚度比为1.0~3.0:1,总厚度为1~5μm。本发明还公开了一种纳米多层结构VC/Co增韧涂层的制备方法,其方法为:将VC靶和Co靶分别安装在中频阴极上,靶面垂直于旋转工作台,采用磁控溅射方法对基体进行沉积。本发明纳米多层结构的VC/Co增韧涂层在保持涂层具有较高的硬度的同时提高了涂层的韧性,可以满足防护涂层及耐磨涂层硬度和韧性的要求,其制备方法可操作性强、可控性好、易于工业化生产。
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