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公开(公告)号:CN108660419A
公开(公告)日:2018-10-16
申请号:CN201710206988.0
申请日:2017-03-31
Applicant: 中国科学院大连化学物理研究所
Abstract: 本发明涉及一种基于超高真空条件下挥发性腐蚀性物质薄膜沉积与催化反应测试装置,基于超高真空条件下挥发性和腐蚀性物质薄膜沉积装置包含有主传样腔,生长腔,三维样品操纵台,蒸发源等可用于挥发性腐蚀性物质薄膜的沉积,腔体外置组件包含进气系统,通入沉积所需化学气氛以及反应测包含抽气机组;基于超高真空条件下催化反应测试装置包括反应腔和快速进样室,反应腔包括温控样品台,样品加热源较为局域可更换式,可减小反应中背景干扰,实现不同温度下的精确的催化反应活性测试,腔体外置组件包含进气系统,可通入发生化学反应气。本发明适用于多种挥发性、腐蚀性物质薄膜的制备,与多种超高真空分析仪器进行联结,实现催化剂反应活性的精确测试。
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公开(公告)号:CN114076833A
公开(公告)日:2022-02-22
申请号:CN202010833649.7
申请日:2020-08-18
Applicant: 中国科学院大连化学物理研究所
Abstract: 本发明涉及一种利用二维氧化物增强针尖选择性分辨的针尖处理方法,可以将金属钨丝处理成具有较小曲率半径的针尖,进一步能够得到选择性分辨金属离子和氧离子的高分辨针尖,适用于超高真空低温扫描隧道显微镜研究。这种非原位处理的针尖可以稳定应用于多层氧化物薄膜或者氧化物单晶相关研究。该方法包括:1)电化学刻蚀制备针尖;2)超高真空中退火;3)在亚单层二维氧化物表面撞针处理;4)将处理好的针尖应用于其他样品表面。本发明方法简单易行,适用范围广,能够在多种二维氧化物如部分氧化的Cu表面Cu2O或者金属负载的FeO、CeO2等表面进行针尖处理操作。本发明能够有效解决目前针尖处理方法带来的分辨率不足和稳定性差的问题。
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公开(公告)号:CN108660419B
公开(公告)日:2020-09-01
申请号:CN201710206988.0
申请日:2017-03-31
Applicant: 中国科学院大连化学物理研究所
Abstract: 本发明涉及一种基于超高真空条件下挥发性腐蚀性物质薄膜沉积与催化反应测试装置,基于超高真空条件下挥发性和腐蚀性物质薄膜沉积装置包含有主传样腔,生长腔,三维样品操纵台,蒸发源等可用于挥发性腐蚀性物质薄膜的沉积,腔体外置组件包含进气系统,通入沉积所需化学气氛以及反应测包含抽气机组;基于超高真空条件下催化反应测试装置包括反应腔和快速进样室,反应腔包括温控样品台,样品加热源较为局域可更换式,可减小反应中背景干扰,实现不同温度下的精确的催化反应活性测试,腔体外置组件包含进气系统,可通入发生化学反应气。本发明适用于多种挥发性、腐蚀性物质薄膜的制备,与多种超高真空分析仪器进行联结,实现催化剂反应活性的精确测试。
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