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公开(公告)号：CN116930315A
公开(公告)日：2023-10-24
申请号：CN202210338243.0
申请日：2022-04-01
申请人： 中国科学院声学研究所
IPC分类号： G01N29/02
摘要： 本发明公开了一种采用多层薄膜介质的声表面波气体传感器，所述声表面波气体传感器包括压电晶体(4)、加热电阻丝(3)、电气输入引脚(7)、电气输出引脚(8)、第一个叉指换能器(5)以及第二个叉指换能器(6)，在第一个叉指换能器(5)和第二个叉指换能器(6)的表面以及第一个叉指换能器(5)和第二个叉指换能器(6)中间的声传播路径上沉积温补介质薄膜(2)，在温补介质薄膜(2)表面沉积大面积气敏薄膜(1)。本发明可获得快速响应、高灵敏度、低温漂以及具有较高表面温度均匀性的声表面波气体传感器。
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公开(公告)号：CN116068047A
公开(公告)日：2023-05-05
申请号：CN202111271605.0
申请日：2021-10-29
申请人： 中国科学院声学研究所
IPC分类号： G01N29/02 , G01N29/024 , G01N29/032 , G01N29/04 , G01N29/11 , G01N29/07 , G01B17/02 , B64D15/22
摘要： 本发明涉及结冰除冰监测领域，具体涉及一种具有自除冰功能的乐甫波结冰传感器及制备方法；本发明提供的传感器的压电基底(1)上方依次设置有第一微加热器(501)、输入换能器(3)、PDMS(聚二甲基硅氧烷)微流控芯片、输出换能器(4)和第二微加热器(502)；PDMS微流控芯片与芯片封装围挡共同形成PDMS储水腔(6)。本发明利用MEMS工艺实现微加热器与乐甫波传感器件的集成，通过温度采集电路和加热控制电路控制，在有冰出现的同时开启除冰功能，具有良好的实时性与可操作性，实现结冰监测与除冰一体化，并利用储水腔(6)对器件表面进行封装，防止水泄露引起电极短路。
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公开(公告)号：CN115436686A
公开(公告)日：2022-12-06
申请号：CN202211011822.0
申请日：2022-08-23
申请人： 中国科学院声学研究所
摘要： 本申请提供了一种延迟线型声表面波电压传感器及电压检测方法。所述电压传感器包括：压电晶体；第一叉指电极；第二叉指电极；敏感薄膜；线圈。本申请所设计的延迟线型声表面波电压传感器通过线圈将待测电压信号所产生的磁场作用于敏感薄膜，诱导敏感薄膜产生磁阻或者磁致伸缩效应，并作用于声表面波，从而利用电‑磁‑声之间的转换机制，可以从声表面波的频率/相位/幅度等信息中解耦出电压信息，本申请所设计的延迟线型声表面波电压传感器具有微型、快速响应以及高灵敏度的特点。
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公开(公告)号：CN113155239B
公开(公告)日：2022-03-18
申请号：CN202011640566.2
申请日：2020-12-31
申请人： 中国科学院声学研究所
IPC分类号： G01F23/2962
摘要： 本发明公开了一种没有先验知识的分层介质中的目标检测与定位方法。该方法的步骤为：在第一介质层的第一表面上设置多个阵元；由每个阵元依次发射声脉冲作为前向声束，由多个阵元分别接收声脉冲产生的接收信号；确定接收信号对应的逆向声束。预设第一介质层的第一试探声速；根据n*n个反射信号，确定第一试探声速下分界面的位形；预设第二介质层的第二试探声速；根据前向声束及逆向声束，确定阵元对应的目标的可能点；计算可能点的离散度；预设多个第一试探声速和第二试探声速，得到可能点的极小离散度；根据极小离散度确定趋近于实际值的第一试探声速、第二试探声速和分界面的位形，采用快照的TR‑RTM方法，对分层介质中的目标进行检测和定位。
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公开(公告)号：CN111180574B
公开(公告)日：2022-01-18
申请号：CN202010012708.4
申请日：2020-01-07
申请人： 中国科学院声学研究所
IPC分类号： H01L41/332 , H01L41/113 , G01H11/08 , B81B7/02
摘要： 本发明涉及一种十字形板状结构的MEMS压电指向性传感芯片。包括：8个压电弹性复合支撑结构(a)、十字形板状结构(b)、带有空腔的硅基底层(c)及支撑件(d)。每个压电弹性复合支撑结构(a)被设计在对应的位置。采用十字形板状结构的MEMS压电指向性传感芯片，实现了同一器件声源三维空间位置定位，提高了声源空间定位精度、减小了器件大小。
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公开(公告)号：CN113314472A
公开(公告)日：2021-08-27
申请号：CN202110425143.7
申请日：2021-04-20
申请人： 中国科学院声学研究所
摘要： 本发明提供了一种基于FPC基板的系统级芯片，涉及集成电路封装技术领域，能够进一步实现系统级芯片的小型化，且具有不易形变、容易键合的特点；该芯片包括封装管壳、有源器件、无源器件和FPC板；所述封装管壳设有内凹空间，所述FPC板设置于所述内凹空间底部；所述有源器件和所述无源器件布设在所述FPC板上；所述内凹空间的顶部用密封胶封装；FPC板采用四周环绕绝缘胶的方式固定在所述内凹空间的底部。本发明提供的技术方案适用于系统级芯片封装设计、制造的过程中。
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公开(公告)号：CN112764039A
公开(公告)日：2021-05-07
申请号：CN201911075381.9
申请日：2019-11-06
申请人： 中国科学院声学研究所
摘要： 本发明公开了一种基于反射延迟线的声表面波结冰传感器及其系统，该传感器包括：压电晶片基片、叉指换能器、第一反射器、储水装置、第二反射器、第三反射器；还包括波导层和与叉指换能器连接的信号传输天线；信号传输天线用于与外部射频读取模块进行信号交互。该系统，包括：前述声表面波结冰传感器和射频读取模块。根据第一反射器、第二反射器和第三反射器形成的反射波，确定储水装置的结冰状态。采用微流控芯片来储存水，并结合宽带低损耗的微带天线与高分辨率的步进调频雷达，实现一种具有高灵敏度、良好的温度稳定性以及快速响应的新型无线无源声表面波结冰传感器。
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公开(公告)号：CN107449955B
公开(公告)日：2020-09-08
申请号：CN201710560422.8
申请日：2017-07-11
申请人： 中国科学院声学研究所
IPC分类号： G01R19/00
摘要： 本发明公开了一种基于图形化磁致伸缩薄膜的声表面波电流传感器，所述声表面波电流传感器包括：压电基片(22)、感知延迟线(21)、参考延迟线(23)和SiO2薄膜(212)，所述感知延迟线(21)和参考延迟线(23)平行且同向，设置于压电基片(22)上；所述感知延迟线(21)和参考延迟线(23)的结构相同；所述SiO2薄膜(212)沉积于感知延迟线(21)和参考延迟线(23)的表面上，所述图形化磁致伸缩薄膜设置在所述SiO2薄膜(212)表面上，在所述感知延迟线(21)的传播路径上。本发明电流传感器通过采用一种平行且同向设置的双延迟线型结构，并将磁致伸缩薄膜材料进行图形化以提升传感器检测灵敏度、一致性与稳定性。
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公开(公告)号：CN111044770A
公开(公告)日：2020-04-21
申请号：CN201911306937.0
申请日：2019-12-18
申请人： 中国科学院声学研究所
摘要： 本发明公开了一种基于单端谐振器的无线无源声表面波电流传感器，包括：压电晶体基片、布置于压电晶体基片上的叉指换能器及布置在叉指换能器一侧的第一反射器和布置在叉指换能器另一侧的第二反射器；叉指换能器的电极、第一反射器和第二反射器的栅极为磁致伸缩材料。当外部通电导线引起的电磁场发生变化时，电极和栅极产生ΔE效应和磁致伸缩效应，使电极和栅极的弹性模量和尺寸发生改变，引起声表面波传播速度的变化，改变谐振频率。通过对接收到的声表面波传感器谐振后产生的回波信号进行解调，利用信号的频率信息来评价电流变化，以此实现无线无源的电流传感器。
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公开(公告)号：CN107632066B
公开(公告)日：2019-11-19
申请号：CN201710646178.7
申请日：2017-08-01
申请人： 中国科学院声学研究所
IPC分类号： G01N29/02
摘要： 本发明提供了一种基于钯镍合金薄膜的声表面波氢气传感器，包括：气室(2)、气泵(3)、气管(4)、差分式振荡电路板(1)和两个平行且同向设置于气室(2)内的声表面波延迟线；所述的气泵(3)通过气管(4)与气室(2)连接；在其中一个声表面波延迟线的声表面波传播路径上设置有钯镍合金薄膜；所述的差分式振荡电路板(1)用于将两个声表面波延迟线经氢气作用后输出的电信号进行混频处理，将生成的差频信号作为传感器的输出结果。本发明通过采用一种平行且同向设置的双延迟线型结构，将有助于改善氢气传感系统的温度稳定性，并且获得更高的检测灵敏度；同时通过采用钯镍合金薄膜作为敏感膜来提高声表面波氢气传感器的检测速度。
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