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公开(公告)号：CN116266965A
公开(公告)日：2023-06-20
申请号：CN202111550625.1
申请日：2021-12-17
申请人： 中国科学院声学研究所
IPC分类号： H05B3/02
摘要： 本发明涉及微加热器领域，特别涉及一种具有局部表面超高温度均匀性的微加热器，包括：衬底(1)、蛇形加热电阻丝(2)和引线引脚(3)；蛇形加热电阻丝(2)沿衬底(1)宽度方向以相同长度的方式折叠排布，并沿衬底(1)长度方向以等间距的方式折叠排布；其阻值沿衬底(1)长度方向，按照沿衬底(1)长度方向变化的权函数变化，使蛇形加热电阻丝(2)在靠近衬底(1)的边缘处，具有最小的宽度和/或厚度，在衬底(1)中心对应位置具有最大的宽度和/或厚度。本发明提供的微加热器对蛇形加热电阻丝(2)进行加权设计，通过对衬底边界处热损失的补偿来实现局部表面超高温度均匀性的微加热器设计。
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公开(公告)号：CN116930315A
公开(公告)日：2023-10-24
申请号：CN202210338243.0
申请日：2022-04-01
申请人： 中国科学院声学研究所
IPC分类号： G01N29/02
摘要： 本发明公开了一种采用多层薄膜介质的声表面波气体传感器，所述声表面波气体传感器包括压电晶体(4)、加热电阻丝(3)、电气输入引脚(7)、电气输出引脚(8)、第一个叉指换能器(5)以及第二个叉指换能器(6)，在第一个叉指换能器(5)和第二个叉指换能器(6)的表面以及第一个叉指换能器(5)和第二个叉指换能器(6)中间的声传播路径上沉积温补介质薄膜(2)，在温补介质薄膜(2)表面沉积大面积气敏薄膜(1)。本发明可获得快速响应、高灵敏度、低温漂以及具有较高表面温度均匀性的声表面波气体传感器。
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公开(公告)号：CN115436686A
公开(公告)日：2022-12-06
申请号：CN202211011822.0
申请日：2022-08-23
申请人： 中国科学院声学研究所
摘要： 本申请提供了一种延迟线型声表面波电压传感器及电压检测方法。所述电压传感器包括：压电晶体；第一叉指电极；第二叉指电极；敏感薄膜；线圈。本申请所设计的延迟线型声表面波电压传感器通过线圈将待测电压信号所产生的磁场作用于敏感薄膜，诱导敏感薄膜产生磁阻或者磁致伸缩效应，并作用于声表面波，从而利用电‑磁‑声之间的转换机制，可以从声表面波的频率/相位/幅度等信息中解耦出电压信息，本申请所设计的延迟线型声表面波电压传感器具有微型、快速响应以及高灵敏度的特点。
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公开(公告)号：CN118518751A
公开(公告)日：2024-08-20
申请号：CN202310131005.7
申请日：2023-02-17
申请人： 中国科学院声学研究所
IPC分类号： G01N29/02
摘要： 本发明涉及气体传感器领域，特别涉及一种基于声场增强的气体传感系统及方法。本发明利用声场激发装置激励特征频率声波，经过固体/液体/气体等媒介传递至气敏材料，驱动气敏材料微观振动，进而提高气敏材料与目标气体分子碰撞概率，加快气敏材料与目标气体之间的吸附/解吸附过程，能够有效提高气体传感器响应/恢复速度。输出信号检测装置可以广泛采用包括声、光、电、磁、核等在内的各种手段进行监测。本发明首次提出利用声场使气敏材料进行微观振动，实现气敏材料快速吸附/脱附气体，并且本发明的系统及方法适用性强，可以普遍应用在各类含有气敏材料的气体传感器中，不改变其信号检测手段，并加速传感器的响应时间和恢复时间。
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公开(公告)号：CN117537983A
公开(公告)日：2024-02-09
申请号：CN202311448743.0
申请日：2023-11-02
申请人： 中国科学院声学研究所
IPC分类号： G01M3/04 , G01N29/032
摘要： 本发明涉及一种声表面波气体泄漏检测方法，包括：输入相同的激励信号，采集声表面波检测器件在背景气体中的输出信号，记为第一信号；采集声表面波检测器件在待检测气体中的输出信号，记为第二信号；计算第二信号和第一信号的能量差，记为能量衰减差值；通过算得的能量衰减差值，计算泄漏气体的体积浓度。还涉及了一种声表面波气体泄漏检测系统，包括：激励单元、声表面波检测器件、采集单元、计算单元。本发明的方法和系统，实现了对气体泄漏检测的快速响应，且量程宽、功耗低。
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公开(公告)号：CN116930316A
公开(公告)日：2023-10-24
申请号：CN202210338245.X
申请日：2022-04-01
申请人： 中国科学院声学研究所
IPC分类号： G01N29/02
摘要： 本发明公开了一种利用气敏薄膜加热的声表面波气体传感器，所述声表面波气体传感器包括电气引脚(1)、金属基座(2)、电气引线(3)、声表面波器件(4)、保护薄膜(5)以及气敏薄膜(6)，气敏薄膜(6)包括蛇形气敏薄膜与块状气敏薄膜，蛇形气敏薄膜与声表面器件(4)中的叉指换能器形状相同，块状气敏薄膜与声表面器件(4)中的叉指换能器之间的声传播路径形状相同；蛇形气敏薄膜与块状气敏薄膜采用并联或串联的方式通过电气引线(3)连接电气引脚(1)。本发明能够有效增强气敏薄膜吸附特性，调节并控制器件温度以及表面温度分布，进而提高声表面波气体传感器响应速度、灵敏度以及稳定性。
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