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发明公开
带有分布反馈光栅和多孔波导量子级联激光器及制作方法无效

公开(公告)号：CN103545712A

公开(公告)日：2014-01-29

申请号：CN201310520575.1

申请日：2013-10-29

Applicant: 中国科学院半导体研究所

Inventor： 胡永正 , 刘峰奇 , 王利军 , 张锦川 , 赵立华 , 王占国

IPC: H01S5/12 , H01S5/22

Abstract: 一种带有分布反馈光栅和多孔波导量子级联激光器，包括：一衬底；一下波导层生长在衬底的中间部位；一量子级联有源区结构生长在下波导层上；一掩埋光栅层生长在量子级联有源区结构上；一低掺层生长在掩埋光栅层上；一高掺层生长在低掺层的中间部位；一多孔结构生长在低掺层上，及高掺层的两侧；一电注入窗口覆盖高掺层和高掺层两侧的部分多孔结构，暴露出多孔结构两端的部分区域；一电绝缘层生长在衬底暴露的部分上面，及下波导层、量子级联有源区结构、掩埋光栅层、低掺层、多孔结构的两侧，并覆盖多孔结构两端暴露的上表面，形成基片；一正面电极制作在电绝缘层上，并覆盖基片的上表面；一背面电极制作在衬底的背面。

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