公开(公告)号：CN117838130A

公开(公告)日：2024-04-09

申请号：CN202311872892.X

申请日：2023-12-29

申请人： 中国科学院半导体研究所

发明人： 裴为华 ,  赵昕 ,  杨晓伟 ,  孙瑀阳 ,  王毅军

IPC分类号： A61B5/25 ,  A61B5/263 ,  A61B5/265 ,  A61B5/294 ,  A61B5/388 ,  A61B5/369 ,  A61B5/293 ,  A61N1/05 ,  A61N1/372 ,  A61N1/375 ,  B81C1/00

摘要： 本公开提供了一种植入式神经微电极及其制作方法，该制作方法包括：准备硬质基板(1)，硬质基板(1)的上表面有多个第一接口，各第一接口以阵列的方式排列；将硬质基板(1)的各第一接口与转接板(2)的第一预设区域的多个通孔对齐，并将各第一接口通过金丝压焊技术紧密内嵌于各通孔中，其中，第一预设区域位于转接板(2)的第一端(21)；通过金丝压焊技术制作金属丝阵列(3)，金属丝阵列(3)由多个金属丝组成，各金属丝垂直于转接板(2)所在的平面，利用金丝压焊技术将各金属丝的一端通过转接板(2)的通孔与各第一接口进行焊接，未被焊接的另一端用于接收神经信号。