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公开(公告)号:CN109820481B
公开(公告)日:2021-10-01
申请号:CN201910132172.7
申请日:2019-02-22
申请人: 中国科学院半导体研究所
摘要: 本发明公开了一种神经光电极及其制备方法,属于神经光电极制备领域,其中,神经光电极包括:蓝宝石光阵列器件、金属丝电极以及紫外胶;所述金属丝电极通过所述紫外胶固定于所述蓝宝石光阵列器件的表面。本发明采用蓝宝石光阵列与金属丝电极相贴附的方式,将刺激通道以及记录通道在空间范围内隔离,有效的降低电刺激噪声;便于组装,金属丝电极的位置以及数量可以依据需求进行组装;光源采用光阵列的方式有利于对多个脑区进行刺激并记录,实现神经活动的高通量检测。
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公开(公告)号:CN109793502B
公开(公告)日:2021-03-05
申请号:CN201910202074.6
申请日:2019-03-15
申请人: 中国科学院半导体研究所
IPC分类号: A61B5/00
摘要: 本发明公开了一种基于阵列光源‑探测器阵列的神经元活动检测方法及探测系统,其中检测方法步骤包括:对受试对象头部的探测区域转染钙离子指示剂;将阵列光源以及探测器阵列对称插入探测区域两侧;阵列光源发光激发对应脑组织区域具有神经活动的神经元发出荧光;探测器阵列探测出荧光强度并将所得荧光强度带入衰减公式,得到不同区域内的等效荧光强度,进而获得神经活动的空间分布。该方法属于脑科学技术领域,能够实现神经活动的高通量和高空间分辨率检测。
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公开(公告)号:CN109962013B
公开(公告)日:2020-12-04
申请号:CN201711398784.8
申请日:2017-12-22
申请人: 吉林大学 , 中国科学院半导体研究所
IPC分类号: H01L21/28 , H01L21/822
摘要: 本发明公开了一种解码大脑活动的针状高密度电极阵列的制备方法,属于高密度电极阵列制备技术领域,首先通过Cadence软件设计需要的电极连线和电极记录位点,采用标准的0.18μm CMOS流片工艺,制备出有高密度电极阵列的硅基片,然后利用碳化硅粉末将基片进行减薄,然后用抛光液对基片进行抛光处理提高基片表面质量,最后通过程序控制扫描振镜的方式来控制飞秒激光的运动轨迹,在基片上图案化切割出具有生物安全性、稳定性并且边缘光滑的针状高密度电极阵列,便于在植入脑内过程中不损伤神经纤维,实现对神经元活动信号高精度的采集。
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公开(公告)号:CN115444368B
公开(公告)日:2024-10-29
申请号:CN202211080600.4
申请日:2022-09-05
申请人: 中国科学院半导体研究所
摘要: 本发明公开了一种健康监测系统的制备方法,包括:提供一衬底;在衬底上形成柔性压力传感器、电阻式温度传感器、电容式湿度传感器、生物化学传感器、量子点敏化太阳能电池,形成柔性压力传感器包括:采用飞秒激光多丝加工技术在氮气氛围下烧蚀出具有蜂窝状微结构的第一硅模板;利用第一硅模板,采用倒模工艺处理聚二甲基硅氧烷薄膜,形成具有蜂窝状微结构的聚二甲基硅氧烷薄膜层,该聚二甲基硅氧烷薄膜层与第一硅模板具有相反的微结构;将具有蜂窝状微结构的聚二甲基硅氧烷薄膜层转移至第一基底层上;在具有蜂窝状微结构的聚二甲基硅氧烷薄膜层上形成MXene活性材料层;在MXene活性材料层上形成叉指电极层,以输出MXene活性材料层在受压状态下产生的电信号。
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公开(公告)号:CN115444368A
公开(公告)日:2022-12-09
申请号:CN202211080600.4
申请日:2022-09-05
申请人: 中国科学院半导体研究所
摘要: 本发明公开了一种健康监测系统的制备方法,包括:提供一衬底;在衬底上形成柔性压力传感器、电阻式温度传感器、电容式湿度传感器、生物化学传感器、量子点敏化太阳能电池,形成柔性压力传感器包括:采用飞秒激光多丝加工技术在氮气氛围下烧蚀出具有蜂窝状微结构的第一硅模板;利用第一硅模板,采用倒模工艺处理聚二甲基硅氧烷薄膜,形成具有蜂窝状微结构的聚二甲基硅氧烷薄膜层,该聚二甲基硅氧烷薄膜层与第一硅模板具有相反的微结构;将具有蜂窝状微结构的聚二甲基硅氧烷薄膜层转移至第一基底层上;在具有蜂窝状微结构的聚二甲基硅氧烷薄膜层上形成MXene活性材料层;在MXene活性材料层上形成叉指电极层,以输出MXene活性材料层在受压状态下产生的电信号。
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公开(公告)号:CN114318451A
公开(公告)日:2022-04-12
申请号:CN202111597939.7
申请日:2021-12-24
申请人: 中国科学院半导体研究所
IPC分类号: C25D5/44 , C25D9/04 , C25D7/00 , C22F3/00 , B23K26/362
摘要: 公开了一种铝合金表面处理方法,包括:对铝合金进行打磨、清洗、烘干处理;使用飞秒激光多丝对铝合金表面进行烧蚀;在铝合金表面制备还原氧化石墨烯涂层。采用飞秒激光多丝烧蚀的方式,可以高效大面积地实现金属表面微结构化,提高不规则铝合金表面的抗反射性能,之后采用恒电位法电镀氧化石墨烯,最终可以实现高效大面积提高铝合金表面抗腐蚀抗反射性能。
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公开(公告)号:CN109820481A
公开(公告)日:2019-05-31
申请号:CN201910132172.7
申请日:2019-02-22
申请人: 中国科学院半导体研究所
摘要: 本发明公开了一种神经光电极及其制备方法,属于神经光电极制备领域,其中,神经光电极包括:蓝宝石光阵列器件、金属丝电极以及紫外胶;所述金属丝电极通过所述紫外胶固定于所述蓝宝石光阵列器件的表面。本发明采用蓝宝石光阵列与金属丝电极相贴附的方式,将刺激通道以及记录通道在空间范围内隔离,有效的降低电刺激噪声;便于组装,金属丝电极的位置以及数量可以依据需求进行组装;光源采用光阵列的方式有利于对多个脑区进行刺激并记录,实现神经活动的高通量检测。
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公开(公告)号:CN109962013A
公开(公告)日:2019-07-02
申请号:CN201711398784.8
申请日:2017-12-22
申请人: 吉林大学 , 中国科学院半导体研究所
IPC分类号: H01L21/28 , H01L21/822
摘要: 本发明公开了一种解码大脑活动的针状高密度电极阵列的制备方法,属于高密度电极阵列制备技术领域,首先通过Cadence软件设计需要的电极连线和电极记录位点,采用标准的0.18μm CMOS流片工艺,制备出有高密度电极阵列的硅基片,然后利用碳化硅粉末将基片进行减薄,然后用抛光液对基片进行抛光处理提高基片表面质量,最后通过程序控制扫描振镜的方式来控制飞秒激光的运动轨迹,在基片上图案化切割出具有生物安全性、稳定性并且边缘光滑的针状高密度电极阵列,便于在植入脑内过程中不损伤神经纤维,实现对神经元活动信号高精度的采集。
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公开(公告)号:CN109793502A
公开(公告)日:2019-05-24
申请号:CN201910202074.6
申请日:2019-03-15
申请人: 中国科学院半导体研究所
IPC分类号: A61B5/00
摘要: 本发明公开了一种基于阵列光源-探测器阵列的神经元活动检测方法及探测系统,其中检测方法步骤包括:对受试对象头部的探测区域转染钙离子指示剂;将阵列光源以及探测器阵列对称插入探测区域两侧;阵列光源发光激发对应脑组织区域具有神经活动的神经元发出荧光;探测器阵列探测出荧光强度并将所得荧光强度带入衰减公式,得到不同区域内的等效荧光强度,进而获得神经活动的空间分布。该方法属于脑科学技术领域,能够实现神经活动的高通量和高空间分辨率检测。
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